當前位置:北崎國際貿易(北京)有限公司>>KOFLOC 科賦樂>> EX-550 系列KOFLOC 科賦樂 全金屬數字質量流量計
產地類別 | 進口 | 產品種類 | 質量式 |
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價格區(qū)間 | 1萬-3萬 | 介質分類 | 氣體&液體 |
應用領域 | 醫(yī)療衛(wèi)生,電子/電池,航空航天,電氣,綜合 |
KOFLOC 科賦樂 全金屬數字質量流量計 EX-550 系列
金屬密封結構
高速應答及出色的零點穩(wěn)定性
0-5V或4-20mA輸入/輸出信號,電源
可從±15 V或24 V單電源選擇
□電源連接器采用通用性較高的D-sub9針連接器
通過切換旋轉開關,可以使用主機中登記的氣體類型。
※流量是與N2氣體的比率計算出的值
標準配備通訊功能(RS485)
符合RoHS•CE標準
形式 | 質量流量控制器 EX-550C | 質量流量計 EX-550M | |
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傳感器方式 | 熱繞組傳感器 | ||
閥門方式 | 比例螺線管閥門(未通電時關閉) | – | |
目標氣體(* 1) | N2,Air,H2,He,Ar,O2,CO2等 (未列出的氣體換算成N2) | ||
流量范圍(* 2) | 10 SCCM~5 SLM | ||
控制范圍(測量范圍) | 2~100%(F.S.) | ||
響應速度 | 總流量控制范圍在1sec內(within±2%F.S.) | ||
L:50kPa~149kPa H:150kPa~300kPa | – | ||
精度 | ±1.0%SP(25%FS至100%FS),±0.25%FS(25%FS) | ||
再現(xiàn)性 | ±0.2%F.S. | ||
工作壓差(* 3) | 50~300 kPa(Ar,CO2:100 kPa~300 kPa) | – | |
最大入口壓力 | 350kPa(G) | ||
耐壓 | 980kPa(G) | ||
He泄漏率 | 1 x 10-11 Pa.m3 / sec以下 | ||
溫度 | 允許周圍溫度 | 5~50℃ | |
精度保證溫度 | 15~35℃ | ||
允許儲存溫度 | -10~60℃ | ||
允許環(huán)境濕度 | 10~90%RH (無結露) | ||
氣體接觸材料 | SUS316L,磁性不銹鋼,PTFE,Ni-Co | ||
電氣連接 | Dsub 9針KFC標準(符合SEMI標準) HR-10A×2 | ||
流量設定輸入信號 | 0~5 VDC(輸入電阻約1MΩ) Or 4~20mA(輸入電阻約250Ω) | – | |
流量輸出信號 | 0~5 VDC(負載電阻10kΩ以上) or 4~20mA(負載電阻500Ω以下) | ||
數字通信 | 通過RS485旋轉開關設置地址 | ||
所需電源(DC) | +15 VDC(±5%)100 mA以下,-15 VDC(±5%)150 mA以下 or+ 24VDC(±10%)180mA以下(MFM都為100mA以下) | ||
接頭 | 相當于1/4 VCR | ||
安裝姿勢 | |||
重量 | 約800g |
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