KASHIYAMA MU100X 干式真空泵

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

 MU100X 是日本 KASHIYAMA（樫山工業(yè)）推出的 MU-XE 系列中小型干式真空泵，專為對(duì)潔凈度要求高的行業(yè)設(shè)計(jì)，如半導(dǎo)體、液晶顯示器、LED 及太陽(yáng)能光伏等。該型號(hào)在能效、穩(wěn)定性、結(jié)構(gòu)緊湊性和維護(hù)便捷性方面均表現(xiàn)優(yōu)異。

技術(shù)參數(shù)

• 抽速：1660 L/min

• 極限壓力：1.5 Pa

• 電源：三相 AC 200–220V，50/60Hz

• 功耗：約 0.35 kW

• 尺寸：450 × 230 × 275 mm

• 重量：約 60 kg

產(chǎn)品特點(diǎn)

• 無(wú)油潔凈設(shè)計(jì)：無(wú)油運(yùn)轉(zhuǎn)，避免油污染，確保工藝腔體潔凈無(wú)殘留。

• 高抽速輸出：1660 L/min 高效抽氣能力，適應(yīng)中高負(fù)載真空需求。

• 節(jié)能環(huán)保：低功耗電機(jī)，運(yùn)行能效比優(yōu)于同類產(chǎn)品。

• 結(jié)構(gòu)緊湊：占地面積小，適合設(shè)備集成和改造項(xiàng)目。

• 維護(hù)便捷：模塊化結(jié)構(gòu)，簡(jiǎn)化檢修流程，降低使用成本。

應(yīng)用領(lǐng)域

KASHIYAMA MU100X 干式真空泵廣泛應(yīng)用于以下制造行業(yè)：

• 半導(dǎo)體前道與后道工藝（CVD、PVD、刻蝕、封裝）

• 液晶顯示器（LCD）面板制造

• LED 芯片生產(chǎn)與測(cè)試

• 太陽(yáng)能電池組件制造

• 真空鍍膜系統(tǒng)、等離子清洗設(shè)備等

配套服務(wù)

• 原廠技術(shù)支持，提供選型指導(dǎo)

• 可定制接口方案，支持整線集成

• 提供安裝調(diào)試與售后維護(hù)服務(wù)

• 長(zhǎng)期現(xiàn)貨供應(yīng)，支持項(xiàng)目投標(biāo)