設備尺寸

L1300×W1190×H1847mm

設備重量

800Kg

設備電源

AC220V，3P,50/60Hz，5線，16A

主機軟件

Windows 10

主機通訊

SECS/GEM

主機硬盤

單/雙

工藝腔

ICP，單腔

料盒類型

開放式（Open cassette）

晶圓單次處理容量

一片

機械手

3軸（單/雙臂選配）

機械手

Mapping(選配）

每小時出片量（WPH)

35片/小時 (1分鐘標準配方)

加熱盤

鋁合金，控溫：50-250℃

等離子發(fā)生系統(tǒng)

電源類型

射頻

電源功率

0~1000W

電源頻率

13.56MHz

匹配器

自動匹配

真空系統(tǒng)

工藝腔

鋁合金

腔門

門閥，氣動

真空管路

全不銹鋼管路，以及高強度真空波紋管

蝶閥

控壓精度：±50 mtorr

真空管路開關

角閥，氣動

真空泵

干泵：600m3/h

真空計

0.001-10 Torr

腔體真空開關

750 Torr

前級管道真空開關

100 Torr

氣體系統(tǒng)

工藝氣體系統(tǒng)

氣柜，模塊化（GAS BOX)

氣柜箱體材質

不銹鋼

氣柜排氣

負壓，酸排

氣柜配置

過濾器，手動閥，流量計，氣動閥，壓差計，調速閥，連鎖開關

氣體路數(shù)

氣路1

O2 5SLM

氣路2

N2 1SLM

氣路3

CF4 100SCCM

氣路4

4%H2/N2 1SLM

氣路5

N2 慢/快速破真空