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ESA15-DEBARA荏原 干式真空泵
| 參考價: | ￥ 9510 |
| 訂貨量: | 1件 |
具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)- ESA15-D 產(chǎn)品型號
- EBARA/荏原 品牌
- 經(jīng)銷商 廠商性質(zhì)
- 成都市 所在地
訪問次數(shù)：9更新時間：2025-03-21 15:41:15
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產(chǎn)品簡介
| 泵軸位置 | 其他 | 輸送介質(zhì) | 其他 |
|---|---|---|---|
| 葉輪數(shù)目 | 其他 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 綜合 |
干式真空泵（Dry Vacuum Pump）是一種在抽氣過程中無需使用油或其他液體作為工作介質(zhì)的真空泵。
產(chǎn)品介紹
EBARA荏原 干式真空泵 ESA15-D
EBARA荏原 干式真空泵 ESA15-D
干式真空泵（Dry Vacuum Pump）是一種在抽氣過程中無需使用油或其他液體作為工作介質(zhì)的真空泵。與傳統(tǒng)的油封式真空泵相比，因此在半導(dǎo)體制造、制藥、化工、食品加工等高潔凈度要求的行業(yè)中得到了廣泛應(yīng)用。
應(yīng)用領(lǐng)域
半導(dǎo)體制造：在半導(dǎo)體生產(chǎn)過程中，干式真空泵用于晶圓加工、薄膜沉積、蝕刻等工藝，確保高潔凈度的真空環(huán)境。
制藥行業(yè)：用于藥品干燥、蒸餾和包裝等環(huán)節(jié)，避免油污染對藥品質(zhì)量的影響。
化工行業(yè)：適用于腐蝕性氣體或易凝結(jié)氣體的抽除，滿足化工生產(chǎn)中的特殊需求。
食品加工：在食品包裝和脫氣過程中，干式真空泵確保食品的安全和衛(wèi)生。
技術(shù)發(fā)展趨勢
隨著工業(yè)技術(shù)的進步，干式真空泵正朝著更高效率、更低噪音和更智能化的方向發(fā)展。例如，采用變頻技術(shù)優(yōu)化能耗，通過智能監(jiān)控系統(tǒng)實現(xiàn)遠程控制和故障診斷。此外，新材料的應(yīng)用也進一步提升了干式真空泵的耐腐蝕性和使用壽命。總之，干式真空泵以其無污染、高效和環(huán)保的特點，在現(xiàn)代工業(yè)中扮演著越來越重要的角色，成為高潔凈度工藝中的關(guān)鍵設(shè)備。
工作原理
干式真空泵通過機械運動直接抽除氣體，無需液體密封或潤滑。其工作原理主要依賴于轉(zhuǎn)子、葉片或螺桿等機械結(jié)構(gòu)的運動，將氣體從進氣口吸入并壓縮，最終從排氣口排出。常見的干式真空泵類型包括螺桿式、爪式、旋片式和渦旋式等。
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