新型的 Pura Plus 是密析爾儀表針對晶圓工業(yè)對于設(shè)備尺寸和指標(biāo)的需求變化而特殊設(shè)計的。Pura Plus 是一款在線微量濕度異動變送器，多路安裝在半導(dǎo)體工廠內(nèi)通向生產(chǎn)線的氣體供應(yīng)zui末端，用來監(jiān)測超純惰性氣體的應(yīng)用。工廠內(nèi)氣體系統(tǒng)分布復(fù)雜，涉及到很多分支、節(jié)點和使用點。因此在常規(guī)的濕度監(jiān)測點后，會由于微量的泄漏、低效的系統(tǒng)設(shè)計、元件故障或過程出錯等等原因?qū)е聺駳鉂B入，影響下游使用。而安裝在分布系統(tǒng)中的 Pura Plus 能夠提供快速的響應(yīng)指示，在 20 ppb 濕氣級別下
1 ppb 的異動的響應(yīng)時間小于1 分鐘。



亮點

· 對 ppb 級別濕度異動的快速響應(yīng)

· 低濕 ppb 級別的靈敏度 （<1 ppb）

· 多點測量安裝的全新概念

· 維護(hù)要求低

· 信號燈式的狀態(tài)指示

· 可設(shè)置警告和報警點

· Modbus 網(wǎng)絡(luò)兼容

· 遠(yuǎn)程控制界面的多通道軟件

· （UHP） 超純氣體的管線檢測

技術(shù)指標(biāo)