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            用VTC-200對銅箔表面進行涂膜

            來源:上海添時科學儀器有限公司   2021年03月08日 10:41  

            實驗材料:厚度0.5㎜的銅箔、透明無機溶膠,實驗樣品如圖1所示

               

                  銅箔                  無機溶膠

            圖1 實驗所用樣品圖

            材料特性:銅箔質軟,容易褶皺;透明無機溶膠具有較大的粘性,不易甩開。

            實驗目的:在銅箔表面涂覆一層厚度均勻的薄膜

            實驗設備:VTC-200真空旋轉涂膜機,實驗所用設備如圖2所示:

            旋轉涂膜機

            VTC-200真空旋轉涂膜機

            圖2 實驗所用設備圖

            實驗所用設備特點:

            VTC-200真空旋轉涂膜機具有操作簡單、清理方便,體積小巧等優(yōu)點,可利用高速旋轉的吸盤使粘滯系數(shù)較大的膠體、溶液等材料均勻地涂覆在樣件表面。該機使用真空吸盤將樣品固定在載樣盤上,具有兩段程序控制速度。首段程序將設備轉速設置在較低的范圍內(nèi),在此轉數(shù)范圍內(nèi)設置一定的注膠時間對樣品進行注膠;第二段程序注膠結束后涂膜機在短時間內(nèi)提升轉數(shù)至第二段所設置的轉數(shù)進行勻膠,在勻膠之前要對勻膠時間進行設置,當勻膠結束后機器自動停止運轉,涂膜的整個過程結束??衫酶咚傩D的吸盤使粘滯系數(shù)較大的膠體、溶液等材料均勻地涂覆在樣件表面。

            設備參數(shù):

              時間設置范圍:1s-600s;轉速:500rpm-6000rpm;

              可設置兩步涂膜程序,轉速穩(wěn)定性為±1%,使涂膜更加均勻。

              SPD1轉速:500-6000 rpm有效;T1時間:1--600s有效。

              SPD2轉速:500-6000 rpm有效;T2時間:1--600s有效。

              載樣盤直徑:φ150mm,適用于尺寸6英寸、8英寸樣片及其它尺寸樣片的涂膜。

            實驗過程:

            首先將5㎜厚的銅箔固定在1㎜厚的方形玻璃片上,然后將固定有銅箔的玻璃片放到吸盤中間的位置,放置玻璃片的時候盡量找好正中心,以免高速旋轉的過程中造成飛片。實驗過程中為了設備清理方便可在機器腔體內(nèi)貼附一層塑料薄膜,試驗后可直接撕下。放置帶有銅箔的玻璃片的設備如圖3所示,

            圖3 放置基片的設備圖

            放置好試樣后對設備進行程序設置,一段:SPD1  500rpm  T1  15s;二段:SPD1  1500rpm  T2  45s。設置好程序后將膠液擠出一定量到基片表面,然后蓋好上蓋,開啟設備對基片進行涂膜。在段速度時,涂膜機在較低轉速下進行勻膠,使膠液在基片表面鋪展開;在第二段速度時在較高旋轉速度下使基片表面的膠體迅速甩開,將多余的膠液甩倒基片外面,然后在基片表面形成具有一定厚度的薄膜。程序運行結束后,將樣品移下并自然干燥,干燥后的試樣如圖4所示;

            圖4 干燥后的試樣圖

              用肉眼可見,薄膜在基片表面均勻分布,若要了解試樣的確切厚度,可使用TFMS-IV型高精度反射膜厚儀對試樣表面厚度進行測量。

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