quark/準(zhǔn)分子照射裝置的應(yīng)用是什么？

來源：深圳九州工業(yè)品有限公司 2023年09月01日 10:21

準(zhǔn)分子照射裝置

應(yīng)用實例

光掩模檢查前的中和

晶圓靜電消除（防止電路損壞）

玻璃表面有機(jī)物去除（干洗）

涂裝前表面改性（提高附著力）

鍍前表面改性（精細(xì)鍍層滲透）

電子基板的預(yù)貼合處理（提高附著力）

什么是準(zhǔn)分子燈？

準(zhǔn)分子燈是一種可以照射真空紫外光的光源，其發(fā)光原理和結(jié)構(gòu)與傳統(tǒng)的放電燈（汞燈、氙燈等）不同。

準(zhǔn)分子燈產(chǎn)生波長為172 nm的真空紫外光（VUV），其光子能量比傳統(tǒng)光清潔和改性中使用的汞燈（波長為185 nm和254 nm）更高。

它可以立即打開和關(guān)閉，不需要空轉(zhuǎn)。

扁平型

半導(dǎo)體	QEF-300SPC	QEF-230SPC	QEF-160	QEF-100	QEF-35ST	QEF-35ST-V126
波長	172納米					126納米
公用事業(yè)	氮氣/冷卻水/AC100-240V
分配	±5%		±7%
照射孔徑	φ332mm	218×218毫米	167×167毫米	φ100mm	φ35mm	φ35mm
兼容的工作尺寸	12英寸	8英寸	6寸	4英寸	–	–
照度（最大窗口表面）	80毫瓦/平方厘米	80毫瓦/平方厘米	30毫瓦/平方厘米	30毫瓦/平方厘米	5毫瓦/平方厘米	5毫瓦/平方厘米

管型

相關(guān)產(chǎn)品

凡本網(wǎng)注明“來源：化工儀器網(wǎng)”的所有作品，均為浙江興旺寶明通網(wǎng)絡(luò)有限公司-化工儀器網(wǎng)合法擁有版權(quán)或有權(quán)使用的作品，未經(jīng)本網(wǎng)授權(quán)不得轉(zhuǎn)載、摘編或利用其它方式使用上述作品。已經(jīng)本網(wǎng)授權(quán)使用作品的，應(yīng)在授權(quán)范圍內(nèi)使用，并注明“來源：化工儀器網(wǎng)”。違反上述聲明者，本網(wǎng)將追究其相關(guān)法律責(zé)任。
本網(wǎng)轉(zhuǎn)載并注明自其他來源（非化工儀器網(wǎng)）的作品，目的在于傳遞更多信息，并不代表本網(wǎng)贊同其觀點和對其真實性負(fù)責(zé)，不承擔(dān)此類作品侵權(quán)行為的直接責(zé)任及連帶責(zé)任。其他媒體、網(wǎng)站或個人從本網(wǎng)轉(zhuǎn)載時，必須保留本網(wǎng)注明的作品第一來源，并自負(fù)版權(quán)等法律責(zé)任。
如涉及作品內(nèi)容、版權(quán)等問題，請在作品發(fā)表之日起一周內(nèi)與本網(wǎng)聯(lián)系，否則視為放棄相關(guān)權(quán)利。