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            液體顆粒計(jì)數(shù)器在濕電子化學(xué)品等級(jí)判定中的應(yīng)用

            來源:陜西普洛帝測控技術(shù)有限公司   2024年03月13日 14:13  


            1、概念:濕化學(xué)品是歐美及我國中國臺(tái)灣地區(qū)的稱呼(更為普遍),國際上又稱工藝化學(xué)品,我國習(xí)慣稱其為超凈高純試劑。

            2、應(yīng)用:濕化學(xué)品是超大規(guī)模集成電路、平板顯示、太陽能電池晶圓等制作過程中的關(guān)鍵性基礎(chǔ)化工材料之一。濕化學(xué)品一般要求超凈和高純,對生產(chǎn)、包裝、運(yùn)輸及使用環(huán)境的潔凈度都有很高要求。

            3、目的:濕電子化學(xué)品的金屬雜質(zhì)含量越低、顆粒度越小,越是可以應(yīng)用于更為先進(jìn)的晶圓制程工藝。所以濕電子化學(xué)品的核心指標(biāo)就是“純凈度”。液體顆粒計(jì)數(shù)器來判定濕化學(xué)品的純度等級(jí),以便對應(yīng)的企業(yè)采購對應(yīng)級(jí)別的產(chǎn)品。

            4、檢測儀器:PMT-2 液體顆粒計(jì)數(shù)器,防腐型。采用普洛帝核心技術(shù)創(chuàng)新型的第八代雙激光窄光顆粒檢測傳感器,雙精準(zhǔn)流量控制-精密計(jì)量柱塞泵和超精密流量電磁控制系統(tǒng),可

            對鹽酸、硫酸、硝酸、氨水、雙氧水、氫氧化鉀、氫氧化鈉、刻蝕液等化學(xué)品進(jìn)行顆粒檢測。0.1、0.2、0.5三個(gè)檢測段的傳感器供選擇。

            5、試劑:單酸堿、混合液、溶劑類。

            6、檢測過程:取一定量溶液;用PMT-2液體顆粒計(jì)數(shù)器對液樣進(jìn)行檢測,將檢測結(jié)果對照電子化學(xué)品SEMI國際標(biāo)準(zhǔn)等級(jí)表,來判定溶液的級(jí)別。見下表:

             

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            7、結(jié)論:目前太陽能電池領(lǐng)域僅需要達(dá)到G1等級(jí);顯示面板領(lǐng)域一般要求達(dá)到G2、G3等級(jí);集成電路領(lǐng)域,8英寸及以下晶圓要求達(dá)到G3、G4水平,12英寸晶圓需要達(dá)到G5等級(jí)。國際上制備G1到G5級(jí)濕電子化學(xué)品的技術(shù)已經(jīng)趨于成熟,國內(nèi)大部分企業(yè)已經(jīng)達(dá)到國際G3標(biāo)準(zhǔn),并已開展G4標(biāo)準(zhǔn)的研發(fā)工作。


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