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            液體顆粒計數(shù)器檢測電子級強酸強堿

            來源:陜西普洛帝測控技術(shù)有限公司   2024年03月28日 16:33  

            1、單酸堿:硫酸、氨水、雙氧水、磷酸、硝酸、鹽酸、冰醋酸、氫氧化鉀、氫氧化鈉等。

            2、作用:電子級強酸強堿多應(yīng)用于半導(dǎo)體制造過程中對零部件的腐蝕和清洗,表面處理中。

            3、SEMI等級標準:電子化學(xué)品的判定通常采用電子化學(xué)品SEMI國際標準等級表

                                電子化學(xué)品SEMI國際標準等級表

            SEMI等級

            IC線寬

            金屬雜質(zhì)

            控制粒徑

            顆粒(個/mL)

            C1

            1.2

            ≤1000(1ppm)

            ≤1.0

            ≤25

            C7

            0.8~1.2

            ≤10(10ppb)

            ≤0.5

            ≤25

            C8

            0.2~0.6

            ≤1.0(1ppb)

            ≤0.5

            ≤3

            C12

            0.09~0.2

            ≤0.1(0.1ppb)

            ≤0.2



            4、判定儀器和液樣:

            使用儀器:PMT-2 液體顆粒計數(shù)器,防腐型,檢測范圍0.1-1.0um,檢測粒徑0.1、0.2、0.5、1.0um。

            液樣:硫酸、氫氧化鈉

            5、檢測結(jié)論:

            看檢測結(jié)果里的積分值,看≥0.1的粒子數(shù)量,≥0.2的粒子數(shù)量,≥0.5的粒子數(shù)量。參照數(shù)量的個數(shù)來判定所測樣品達到那個級別的。

            應(yīng)用:化學(xué)品生產(chǎn)商一般在實驗室使用離線取樣檢測的方式。抽取產(chǎn)線上數(shù)個液樣,按照批次來進行檢測。反應(yīng)所生產(chǎn)液樣的工藝是否達標。

            6、注意事項:

            確保儀器的準確性:在使用前應(yīng)對儀器進行校準,以確保檢測結(jié)果的準確性。
            避免交叉污染:清洗容器,避免容器壁上的顆粒進入檢測液樣;在百級清潔環(huán)境里進行檢測,避免空氣中的大顆粒進入檢測液樣。


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