智能、易用、準(zhǔn)確 Miracle Inspection系列晶圓級檢測顯微鏡

搭載自動對焦和激光缺陷標(biāo)記的8/12吋晶圓級檢測顯微鏡

為半導(dǎo)體制造、面板顯示以及光伏等工業(yè)領(lǐng)域提供多維度的自動檢測方案

Miracle Inspection系列晶圓級檢測顯微鏡在基于蔡司光學(xué)的基礎(chǔ)上，采用了模塊化的設(shè)計方式。通過電動位移臺和各個功能模塊之間的相互配合，在實現(xiàn)對晶圓級樣品自動上下料的同時，可在多個維度上對其進(jìn)行加工選擇和自動檢測，從而高質(zhì)量的完成客戶的需求，并一鍵式自動生成測試報告，實現(xiàn)整套工作流程的一致性朔源。

高效的工作模式

Miracle Inspection系列晶圓級檢測顯微鏡提供多種電動選件，通過硬件和軟件算法之間的相互配合，使得顯微鏡能夠在不同的工作模式下，高效地實現(xiàn)對待測樣品區(qū)域的大圖拼接、景深融合以及微區(qū)加工等操作，從而讓客戶在極短的時間內(nèi)完成對待測樣品多個維度下的檢測和加工。

景深融合

使用景深融合的技術(shù)，通過圖像處理的算法把待測樣品不同焦平面的圖像融合為單張全視野清晰圖像，從而直觀得獲取待測樣品的三維細(xì)節(jié)。除此之外，搭配AI算力模型，融合后的圖像可直接通過模型進(jìn)行目標(biāo)識別和分類，從而實現(xiàn)對待測物的自動分析，在提高整體的檢測效率和準(zhǔn)確性的同時，可以大幅減少人為操作所帶來的誤差。

大圖拼接

使用大圖拼接的技術(shù)，通過將多個相鄰視場的顯微圖像進(jìn)行無縫拼接為單張高分辨率的全景圖像，從而結(jié)合低倍導(dǎo)航圖與高倍率細(xì)節(jié)圖，在消除視野盲區(qū)的同時，實現(xiàn)從宏觀到微觀的多層級研究。除此之外，拼接得到的大圖可以作為導(dǎo)航圖進(jìn)行區(qū)域選擇，通過搭配激光缺陷標(biāo)記模塊，可實現(xiàn)對待測樣品視野外區(qū)域的精確加工和激光修復(fù)，提升整個工作流程中的工作效率。

“交鑰匙”式晶圓檢查解決方案 

Miracle Inspection系列晶圓級檢測顯微鏡旨在為客戶提供簡單易用的操作環(huán)境，通過集成符合人體工學(xué)的觀察目鏡、遠(yuǎn)程控制手柄和強(qiáng)大的操作軟件等配置，使得客戶在使用時無需自行開發(fā)或整合所有模塊，就可以完成對整個晶圓級樣品的換樣、缺陷標(biāo)記、數(shù)據(jù)分析到輸出客戶體系報告的全流程任務(wù)，確保檢測結(jié)果的標(biāo)準(zhǔn)化與可重復(fù)性，以工程化的思維解決碎片化的需求，使整個工作流程無縫銜接，讓客戶聚集于業(yè)務(wù)決策而非技術(shù)細(xì)節(jié)。

實時測量，提供準(zhǔn)確數(shù)據(jù)

Miracle Inspection系列晶圓級檢測顯微鏡可提供多種測量方案，通過搭配自動對焦模組，可實時采集待測樣品多個維度下的信息。在實時對樣品表面進(jìn)行特征線性尺寸、角度、圓直徑、矩形邊測量等基礎(chǔ)測量的同時，基于嵌入式處理單元搭建模型環(huán)境，從而實現(xiàn)數(shù)據(jù)本地實時處理和模型訓(xùn)練，避免數(shù)據(jù)傳輸或云端引入的延遲來進(jìn)行實時二維材料層數(shù)識別或者光學(xué)元器件的自動分揀，最終根據(jù)客戶導(dǎo)入的報告體系，生成最終的檢測報告。

延續(xù)蔡司品質(zhì)，歷經(jīng)百年的光學(xué)質(zhì)量

整合ICCS光學(xué)優(yōu)勢，實現(xiàn)更好的光學(xué)成像效果 提供明場、暗場、DIC、偏光以及熒光等多種方式來對樣品進(jìn)行觀察和檢測。

偏光（a）

偏光（b）

暗場

明場

熒光檢測（a）

熒光檢測（b）

DIC(a)

DIC(b)

豐富的物鏡選項

蔡司物鏡提供的光學(xué)性能，通過高分辨率圖像顯示微小特征結(jié)構(gòu)，無論是材料紋理還是結(jié)構(gòu)細(xì)節(jié)，都能精準(zhǔn)呈現(xiàn)。 復(fù)消色差物鏡在消色差的同時，保證在400-700nm內(nèi)有更高透過率，并且通過更高的數(shù)值孔徑實現(xiàn)更高的空間分辨率，適合高精度量測任務(wù)。

智能快速的自動對焦

Miracle Inspection系列晶圓級檢測顯微鏡可配置自動對焦模塊，通過660nm/780nm/808nm的反射 光源、Z軸位移臺和高幀率觀測相機(jī)之間的高度協(xié)同性，能夠快速根據(jù)軟件算法確定樣品的聚焦平面并保持持續(xù)的追焦?fàn)顟B(tài)。這不僅解決了手動調(diào)焦的諸多問題，更通過數(shù)據(jù)驅(qū)動焦點的決策，為后續(xù)分析提供高質(zhì)量的輸入，推動科研與工業(yè)檢測進(jìn)入全自動高保真時代。

***支持所有Zeiss Axioscope系列晶圓級檢測顯微鏡升級此配件

0 5

智能高效的激光缺陷標(biāo)記

Miracle Inspection系列晶圓級檢測顯微鏡可配置激光缺陷標(biāo)記模塊，通過配備450nm和532nm的雙激光組合，可以在顯微鏡的體系中將精準(zhǔn)檢測與物理標(biāo)識深度結(jié)合，構(gòu)建“發(fā)現(xiàn)-標(biāo)記-處理”的閉環(huán)質(zhì)檢體系，在完成多種亞微米級激光應(yīng)用的同時，通過數(shù)據(jù)-物理空間的雙向映射，為智能化制造提供可追溯的數(shù)字化孿生錨點。

導(dǎo)航圖預(yù)覽、圖紙對比、準(zhǔn)確定位

通過導(dǎo)航圖預(yù)覽功能，操作人員可以迅速了解晶圓的整體布局和結(jié)構(gòu)，從而快速定位到感興 趣的區(qū)域。對于大面積晶圓的精準(zhǔn)檢測尤為重要，可以節(jié)省大量尋找特定區(qū)域的時間。

基于軟件中高級圖像分析能力,能夠?qū)⒕A的實際圖像與設(shè)計圖紙進(jìn)行實時對比，方便操作人員快速且精確的識別出兩者的差異。還可以憑借“激光標(biāo)記”功能，將需要改善的位置直接標(biāo)記出來，為下一步優(yōu)化參數(shù)和制造工藝提高便利。

第三方兼容，實現(xiàn)晶圓自動搬運(yùn)0

通過導(dǎo)航圖預(yù)覽功能，操作人員可以迅速了解晶圓的整體布局和結(jié)構(gòu)，從而快速定位到感興趣的區(qū)域。對于大面積晶圓的精準(zhǔn)檢測尤為重要，可以節(jié)省大量尋找特定區(qū)域的時間。

1.XY手動運(yùn)動臺動運(yùn)動臺

8吋晶圓XY手動/電動運(yùn)動臺模組

XY運(yùn)動軸精度：≤2 μm

行程：205 mm * 205 mm

XY運(yùn)動軸帶離合器手柄，可快速移動

2.Z軸運(yùn)動臺

Z軸同時配備電傳手輪和碼盤

Z軸微調(diào)精度：≤1 μm

行程：≥36 mm

3.物鏡模組

采用蔡司原裝的手動/電動物鏡切換裝置

蔡司EpiPlan消色差物鏡，EPN半復(fù)消色差物鏡以及EPA復(fù)消色差物鏡

4.光源模組

5W LED透射式光源

10W LED透射式光源

5.晶圓放置模組

兼容多尺寸晶圓的載物臺（可兼容4英寸，6英寸和8吋晶圓片）

保留透射光路，晶圓載物臺可拆卸，支持液晶面板的檢測功能

6.成像觀察模組

適配蔡司的Axiocam系列相機(jī)，?？低曄盗邢鄼C(jī)

適配蔡司的目鏡（選配）

提供明場/暗場的觀察方式，可選配微分干涉，熒光和偏光的觀察方式

7.遠(yuǎn)程控制手柄

物鏡切換裝置按鈕

照明光光強(qiáng)控制按鈕，并且可以隨物鏡/觀察方式自動調(diào)節(jié)當(dāng)前光強(qiáng)

反射照明和透射照明切換按鈕

電傳Z軸聚焦旋鈕，XY運(yùn)動軸遙感

缺陷標(biāo)記和主動對焦快速確定按鈕

8.主動對焦模組

可兼容主動對焦模組，實現(xiàn)50×物鏡下對被觀察的實時對焦功能

9.缺陷標(biāo)記模組

可兼容缺陷標(biāo)記模組，實現(xiàn)對樣品缺陷部分進(jìn)行實時標(biāo)記 晶圓搬運(yùn)模組

10.晶圓搬運(yùn)模組

可兼容晶圓搬運(yùn)模組，實現(xiàn)晶圓片的自動上下料