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            Miracle Inspection系列晶圓檢測顯微鏡

            來源:托托科技(蘇州)有限公司   2025年04月23日 13:48  

            Miracle Inspection系列晶圓檢測顯微鏡,基于蔡司光學(xué)基礎(chǔ),采用模塊化設(shè)計,專為半導(dǎo)體制造、面板顯示及光伏等工業(yè)領(lǐng)域打造。搭載自動對焦和激光缺陷標(biāo)記功能,提供多維度自動檢測方案,實現(xiàn)高效、精準(zhǔn)的晶圓級檢測。


            高效工作模式:多種電動選件,硬件軟件協(xié)同,實現(xiàn)大圖拼接、景深融合、微區(qū)加工等操作,短時內(nèi)完成多維度檢測和加工。

            景深融合技術(shù):圖像處理算法融合不同焦平面圖像,直觀展示三維細節(jié),結(jié)合AI算力模型,實現(xiàn)自動分析,提高檢測效率和準(zhǔn)確性。

            大圖拼接技術(shù):無縫拼接多視場圖像,消除視野盲區(qū),實現(xiàn)宏觀到微觀的多層級研究,支持精確加工和激光修復(fù)。

            “交鑰匙”式解決方案:集成人體工學(xué)設(shè)計、遠程控制及強大軟件,簡化操作流程,確保檢測結(jié)果的標(biāo)準(zhǔn)化與可重復(fù)性。


            實時測量:多種測量方案,實時采集多維信息,實現(xiàn)特征尺寸、角度等基礎(chǔ)測量,支持?jǐn)?shù)據(jù)本地處理和模型訓(xùn)練。

            豐富觀察方式:提供明場、暗場、DIC、偏光、熒光等多種觀察方式,滿足不同檢測需求。

            智能自動對焦:配置自動對焦模塊,快速確定聚焦平面,保持持續(xù)追焦,提升分析質(zhì)量。

            激光缺陷標(biāo)記:雙激光組合,實現(xiàn)精準(zhǔn)檢測與物理標(biāo)識結(jié)合,構(gòu)建閉環(huán)質(zhì)檢體系。


            運動臺模組:高精度XY手動/電動運動臺,Z軸運動臺,確保精準(zhǔn)定位和調(diào)整。

            物鏡模組:蔡司原裝手動/電動物鏡切換裝置,多種物鏡選擇,滿足不同觀測需求。

            光源模組:高功率LED透射式光源,提供穩(wěn)定、均勻的照明。

            晶圓放置模組:兼容多尺寸晶圓,支持液晶面板檢測,靈活拆卸。

            成像觀察模組:適配多種相機和目鏡,提供多種觀察方式。

            遠程控制手柄:集成多種控制功能,實現(xiàn)便捷操作。

            主動對焦模組:兼容主動對焦模組,實現(xiàn)實時對焦功能。

            缺陷標(biāo)記模組:兼容缺陷標(biāo)記模組,實現(xiàn)實時缺陷標(biāo)記。

            晶圓搬運模組:兼容晶圓搬運模組,實現(xiàn)自動上下料。

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