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2025
03-14NexION 300S ICP-MS測(cè)定硅晶 片中的雜質(zhì)
引言控制硅基半導(dǎo)體器件中的雜質(zhì)含量是至關(guān)重要的，因?yàn)榧词故浅哿康碾s質(zhì)（包括堿和堿土元素、過(guò)渡金屬）都可能會(huì)導(dǎo)致器件發(fā)生缺陷，如擊穿電壓或高暗電流。出于質(zhì)量控制的目的，常規(guī)分析的硅主要有兩種類型：體硅和硅晶片表面。對(duì)體硅的分析可以使用一種非常強(qiáng)的酸將硅消解，如氫氟酸（HF）。硅晶片表面的分析常用的方法是氣相分解，包括使用極少量的酸（通常是HF）滴一滴在表面收集晶圓表面上的雜質(zhì)。這樣得到的樣品體積通常約為200μL。體硅的分析不存在樣品體積的問(wèn)題，但是為了盡量減少樣品前處理耗費(fèi)的時(shí)間，還是需要較小2025
03-13NexION 300S ICP-MS測(cè)定半導(dǎo)體級(jí)硝酸中的雜質(zhì)
引言目前，由于半導(dǎo)體器件在設(shè)計(jì)時(shí)都選擇更小的線寬，因此就更容易受到低濃度雜質(zhì)的影響。在半導(dǎo)體工業(yè)中，硝酸（HNO3）被廣泛用來(lái)與氫氟酸（HF）配制混酸，改變限擴(kuò)散或限速率的蝕刻。這兩種酸配成的混酸常被用于蝕刻和在前端處理中暴露臨界層。在這一階段，實(shí)際的設(shè)備（包括晶體管和電阻器）被創(chuàng)建。一個(gè)典型的前端處理主要包括以下幾個(gè)步驟：晶片表面的制備、二氧化硅（SiO2）的增長(zhǎng)、模式化和后續(xù)注入或擴(kuò)散添加劑以獲得所需的電性能、柵介質(zhì)的增長(zhǎng)或沉積，以及蝕刻。任何金屬雜質(zhì)的存在都將對(duì)IC器件的可靠性產(chǎn)生不利影響2025
03-12NexION 300S ICP-MS測(cè)定半導(dǎo)體級(jí)硫酸中的雜質(zhì)
前言制造半導(dǎo)體器件包括在基板上形成一個(gè)犧牲層。通常，犧牲層由一個(gè)圖形化的光阻層組成，這樣就可以使離子注入基板，之后再用一種濕式蝕刻溶液來(lái)消除圖形化的光阻層。通常情況下，蝕刻液由硫酸（H2SO4）和過(guò)氧化氫（H2O2）配制而成，也被稱為食人魚(yú)或臭氧硫酸。由于是與其他化學(xué)物質(zhì)一起使用的，任何金屬雜質(zhì)的引入都將會(huì)對(duì)IC器件的可靠性產(chǎn)生不利影響，因此需要使用的硫酸具有高純度和高質(zhì)量。SEMI標(biāo)準(zhǔn)C44-0708對(duì)硫酸中的金屬污染物按元素和等級(jí)規(guī)定了最大允許濃度。由于具有快速測(cè)定各種工藝化學(xué)品中超痕量濃度2025
03-12珀金埃爾默紫外分光光度計(jì)的功能多樣性優(yōu)勢(shì)
珀金埃爾默紫外分光光度計(jì)的功能多樣性優(yōu)勢(shì)主要體現(xiàn)在以下幾個(gè)方面：一、廣泛的應(yīng)用領(lǐng)域珀金埃爾默紫外分光光度計(jì)適用于多個(gè)領(lǐng)域，包括但不限于食品、生物產(chǎn)業(yè)、制藥等。其出色的性能和靈活性使得它能夠滿足這些領(lǐng)域中各種復(fù)雜樣品的分析需求。二、多樣的型號(hào)與配置珀金埃爾默提供了多種型號(hào)的紫外分光光度計(jì)，這些型號(hào)在光譜范圍、帶寬、波長(zhǎng)精度等方面具有不同的特點(diǎn)，可滿足不同用戶的具體需求。此外，這些儀器還可以配備各種靈活的采樣附件，如積分球、反射附件、透射附件等，進(jìn)一步擴(kuò)展了它們的應(yīng)用范圍。三、高性能的測(cè)試能力紫外分2025
03-11NexION 300S ICP-MS測(cè)定半導(dǎo)體 級(jí)TMAH中的雜質(zhì)
前言：四甲基氫氧化銨（TMAH）是一種廣泛用于半導(dǎo)體光刻工藝和液晶顯示器（LCD）生產(chǎn)中形成酸性光阻的基本溶劑。由于其在此類高要求應(yīng)用中的廣泛使用，使得對(duì)TMAH純度的檢測(cè)變得越來(lái)越重要。SEMI標(biāo)準(zhǔn)C46-03061規(guī)定濃度為25%的TMAH溶液中各元素污染物低于100ppb。然而，通常使用的都不是TMAH的濃溶液，實(shí)際上使用的TMAH溶液濃度絕大多數(shù)都在1-3%之間。由于具有快速測(cè)定各種工藝化學(xué)品中超痕量濃度（ng/L或萬(wàn)億分之）待測(cè)元素的能力，電感耦合等離子體質(zhì)譜儀（ICP-MS）已成為了2025
03-10FT-IR自動(dòng)分析系統(tǒng)測(cè)量硅晶圓中的元素雜質(zhì)
引言隨著半導(dǎo)體需求的增加，特別是消費(fèi)電子產(chǎn)品、汽車以及日益增長(zhǎng)的太陽(yáng)能發(fā)電行業(yè)中硅器件的使用，硅晶圓的產(chǎn)量預(yù)計(jì)在未來(lái)幾年將出現(xiàn)高速增長(zhǎng)。硅晶圓的生產(chǎn)目前采用了多種工藝，最常見(jiàn)的兩種是FloatZone（FZ）和Czochralski（CZ）工藝。FZ工藝可以生產(chǎn)高純度硅晶圓，而CZ工藝生產(chǎn)的晶圓相對(duì)來(lái)說(shuō)含有更多的元素雜質(zhì)（特別是碳和氧）。然而，與FZ工藝相比，CZ工藝具有一些重要優(yōu)勢(shì)，如更好的熱應(yīng)力特性、制造速度更快、成本更低等。此外，氧雜質(zhì)的存在有一個(gè)好處，可起到吸氣劑的作用，可以去除微量金屬2025
03-07Avio 200 ICP-OES微波制樣方案滿足危害性物質(zhì) 限制（RoHS）指令要求
簡(jiǎn)介隨著人們對(duì)電子產(chǎn)品的依賴程度越來(lái)越高，各大廠商開(kāi)始不斷開(kāi)發(fā)具有新功能的產(chǎn)品，這使得消費(fèi)者日趨頻繁地對(duì)電子產(chǎn)品進(jìn)行更新?lián)Q代，電子產(chǎn)品的壽命也變得越來(lái)越短，而這也導(dǎo)致需要處理的廢棄電子產(chǎn)品數(shù)量不斷上升，盡管人們已經(jīng)開(kāi)始實(shí)施并大力推廣電子產(chǎn)品回收計(jì)劃。電子產(chǎn)品中包含許多組件，一旦被丟棄，產(chǎn)品中的金屬極可能會(huì)進(jìn)入環(huán)境中。其中最令人擔(dān)憂的有毒金屬包括鎘（Cd）、鉻（Cr，主要是六價(jià)鉻[CrVI]）、汞（Hg）和鉛（Pb）。為了解決這一問(wèn)題，危害性物質(zhì)限制（RoHS）指令規(guī)定了鎘、六價(jià)鉻、汞和鉛在每種電2025
03-062025
03-05利用TurboMatrix HS 進(jìn)樣器分析變壓器油中的溶解氣體
世界上近90%的人不了解電力沒(méi)有普及的生。這是每天都被大多數(shù)人視為理所當(dāng)然的奢侈享受。當(dāng)供電中斷時(shí)，恐慌通常會(huì)接踵而至，正如2019年7月13日曼哈頓全城停電中所目睹的那樣，7.3萬(wàn)多人因斷電數(shù)小時(shí)陷入黑暗中。盡管此次事件未有人員傷亡的報(bào)告，有許多關(guān)于此類大規(guī)模停電后造成混發(fā)生，變壓器必須亂和安全隱患的報(bào)道，尤其是發(fā)生在這樣一個(gè)大都會(huì)城市中。為防止此類電力中斷事件的妥當(dāng)維護(hù)和監(jiān)控。以減少停電發(fā)生為目標(biāo)進(jìn)行常規(guī)監(jiān)控的有效手段包括對(duì)變壓器絕緣油進(jìn)行分析。電力變壓器中的絕緣油的作用既可作為絕緣體又可作2025
03-05TGA 8000 熱重分析儀應(yīng)用領(lǐng)域與特點(diǎn)
TGA8000熱重分析儀典型應(yīng)用舉例?監(jiān)控環(huán)氧樹(shù)脂等材料的固化過(guò)程?粉末、凝膠以及低粘度材料直接測(cè)試?高聚物泡沫材料、面包、肉塊和糖果等天然高分子材料的測(cè)試?紙張、天然纖維和食品等濕度敏感材料的研究?增塑劑對(duì)尼龍和聚氨酯等材料玻璃化轉(zhuǎn)變過(guò)程的影響DMA8000使之成為材料研究開(kāi)發(fā)和生產(chǎn)線質(zhì)量控制的的創(chuàng)新型設(shè)計(jì)，高效靈活的操作理想儀器。?自由旋轉(zhuǎn)的測(cè)試頭，可在任何合適的方位進(jìn)行裝樣測(cè)試?降溫迅速且節(jié)省液氮消耗?可拓展流體浴配件?可選配濕度發(fā)生器?珀金埃爾默Pyris熱分析軟件系統(tǒng)，功能強(qiáng)大，使用方2025
03-04Pyris™ DSC 9 熱分析儀特點(diǎn)與應(yīng)用
新一代DSC9熱分析儀改變了高溫差示掃描量熱(DSC)分析，在不降低性能的前提下提供了可靠、用戶友好的DSC系統(tǒng)。該儀器專為滿足嚴(yán)格的ASTM標(biāo)準(zhǔn)(包括氧氣感應(yīng)時(shí)間(OIT)測(cè)試)而設(shè)計(jì)，其高容量不銹鋼爐體置于銅底座上，溫度可達(dá)750℃。這確保能夠?qū)Ω鞣N樣品進(jìn)行全面分析并獲得分析見(jiàn)解。DSC9緊湊且穩(wěn)健的設(shè)計(jì)同時(shí)優(yōu)化了直接溫度控制功能，提高了DSC分析的質(zhì)量。DSC9系統(tǒng)具有價(jià)值，其特點(diǎn)是易于維護(hù)，符合ASTM標(biāo)準(zhǔn)，以及專為長(zhǎng)期和高強(qiáng)度使用而設(shè)計(jì)的耐用結(jié)構(gòu)。新一代DSC9熱分析儀典型應(yīng)用舉例1、2025
03-04LAMBDA850 近紅外分光光度計(jì) +/1050+ 紫外/可見(jiàn)
LAMBDA™紫外分光品質(zhì)、可靠性和專業(yè)的應(yīng)用技術(shù)得到系列分光光度計(jì)以其高了世界范圍的廣泛認(rèn)可。1、先進(jìn)的四區(qū)分段扇形信號(hào)收集的斬波器：即扇形信號(hào)校2、高靈敏度光電倍增管和Peltier半導(dǎo)體冷卻Pbs檢測(cè)器3、最小有效檢測(cè)波長(zhǎng)低至175nm,振、自動(dòng)多角度透射反射可配置自動(dòng)偏附件，實(shí)現(xiàn)深紫外區(qū)至近紅外區(qū)的多角度自動(dòng)光學(xué)性能檢測(cè)4、安全加強(qiáng)版（ES的UVWinLab技術(shù)規(guī)范軟件集成了21章第11款（FDA21CFRPart11足相關(guān)受管制行業(yè)的需要）法規(guī)要求?化妝品和防曬產(chǎn)品中防曬因子分析?平板2025
03-03珀金埃爾默功率補(bǔ)償型差示掃描量熱儀特點(diǎn)與應(yīng)用
珀金埃爾默公司始終致力于熱分析解決方案的開(kāi)拓創(chuàng)新，我們的高性能DSC產(chǎn)品系列將賦予用戶洞察能力。?功率補(bǔ)償型設(shè)計(jì)原理，能真實(shí)直接測(cè)量能量和溫度而非溫度差?雙爐體設(shè)計(jì)，準(zhǔn)確的熱流測(cè)量?抗氧化、耐化學(xué)腐蝕的鉑銥合金爐體?掃描速率快，線性掃描速率可達(dá)750℃/min，急速冷卻速率高達(dá)2100℃/min?自動(dòng)進(jìn)樣器支持無(wú)人值守操作，加快分析速率?功率補(bǔ)償型高速DSC技術(shù)HyperDSC®珀金埃爾默功率補(bǔ)償型差示掃描量熱儀典型應(yīng)用舉例?等溫動(dòng)力學(xué)研究-等溫測(cè)試?高分子UV固化-快速的固化響應(yīng)?改進(jìn)生產(chǎn)加工2025
02-27LAMBDA 750紫外可見(jiàn)分光光度計(jì)特點(diǎn)與應(yīng)用
作為長(zhǎng)期以來(lái)分光光度計(jì)的行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)，LAMBDA750使用高靈敏PMT檢測(cè)器和Peltier冷卻PbS檢測(cè)器，在整個(gè)光譜范圍內(nèi)獲得優(yōu)異的測(cè)試性能，最大波長(zhǎng)可達(dá)3300nm。該儀器還可以配備一系列行業(yè)可控而且靈活的采樣附件，包括：大體積雙樣品艙、通用反射附件、插入式積分球以及萬(wàn)能光學(xué)平臺(tái)。分光光度計(jì)典型應(yīng)用舉例：?對(duì)建筑和特殊用途玻璃進(jìn)行光譜分析，提供熱效率和其他關(guān)鍵設(shè)計(jì)參數(shù)?完整表征平板顯示器的光學(xué)性能?采樣靈活性幫助繁忙的光學(xué)實(shí)驗(yàn)室應(yīng)對(duì)千變?nèi)f化的測(cè)試需求?近紅外波段測(cè)試能力可對(duì)太陽(yáng)能電池、壓花玻2025
02-26OilExpress 4油品狀況監(jiān)測(cè)系統(tǒng)特點(diǎn)介紹
OilExpress™4采用ASTM®、JOAP油品狀況監(jiān)測(cè)系統(tǒng)和Caterpillar®S?O?了高度自動(dòng)化快速分析和可靠的油SSM等的業(yè)界標(biāo)準(zhǔn)，確保品狀況監(jiān)測(cè)結(jié)果。1、樣品分析通量更高，自動(dòng)進(jìn)樣，自動(dòng)分析，每小時(shí)的樣品分析數(shù)可達(dá)100個(gè)2、注射加樣系統(tǒng)，一次性采樣針頭，避免交叉污染3、智能流路控制，搭配全新設(shè)計(jì)的真空樣品分配器，適合不同粘度的油品樣本4、減少溶劑消耗，一次分析只需750μl樣品和生量降幅可達(dá)3mL溶劑，溶劑用量以及廢棄物產(chǎn)80%5、每年使用珀金埃爾默OilExpress設(shè)備分2025
02-25Spectrum Two FT-IR 紅外光譜儀特點(diǎn)與應(yīng)用舉例
操作簡(jiǎn)便、功能強(qiáng)大、結(jié)構(gòu)緊湊、堅(jiān)實(shí)耐用?SpectrumTwoTM紅外光譜能夠在任意地方為每一個(gè)人所輕松使用。1、儀器光學(xué)設(shè)計(jì)實(shí)現(xiàn)了全新的突破，采用無(wú)需維護(hù)的光學(xué)系統(tǒng)，同時(shí)使用經(jīng)證明長(zhǎng)期有效無(wú)動(dòng)態(tài)錯(cuò)誤的干涉儀設(shè)計(jì)，確保了可靠性2、提供多種電源方案供選配，無(wú)論是否具有外部主電源，都能夠正常工作；同時(shí)，還可使用無(wú)線連接通過(guò)便攜式PC進(jìn)行控3、可配置高度流程化觸控軟件，搭配潤(rùn)滑油成分分析、脂肪酸甲酯分析等應(yīng)用方案包，無(wú)需紅外應(yīng)用經(jīng)驗(yàn)，軟件“一鍵”操作，直接得到分析結(jié)果并出具檢測(cè)報(bào)告典型應(yīng)用舉例?藥物、2025
02-242025
02-21QSight 三重四極桿液質(zhì)聯(lián)用儀特點(diǎn)與應(yīng)用
BrownleeSPP多孔殼層技術(shù)BrownleeSPP多孔殼層技術(shù)可以在HPLC系統(tǒng)上達(dá)到“UHPLC”相似的分離效果。在SPP色譜柱上，您可以獲得更尖銳的色譜峰和更快速的分離效果，而無(wú)需擔(dān)心高反壓或者色譜柱壽命受到任何影響。不像其他色譜柱，BrownleeSPP色譜柱采用實(shí)心內(nèi)核，同時(shí)表面鍵合上一層薄薄的高質(zhì)量的多孔結(jié)構(gòu)組成的硅膠顆粒為填料。這一先進(jìn)技術(shù)使得填料具有更短的擴(kuò)散路徑，提供高柱效的同時(shí)保證系統(tǒng)反壓更?。Sight三重四極桿液質(zhì)聯(lián)用儀QSightTM三重四極桿液質(zhì)聯(lián)用儀具有層流質(zhì)2025
02-19LC 300 高效液相色譜、超高效液相色譜系統(tǒng)特點(diǎn)與應(yīng)用
珀金埃爾默全新設(shè)計(jì)的多種檢測(cè)器可選、超準(zhǔn)梯度、超低擴(kuò)散體積和全新的LC300HPLC和UHPLC系統(tǒng)，具有Simplicity™ChromCDS軟件等特點(diǎn)和優(yōu)勢(shì)，可以改善工作流程、樣品通量和易用性。無(wú)論您需要傳統(tǒng)的高效液相色譜的穩(wěn)定耐用，或廣為接受的超高效液相色譜的性能優(yōu)勢(shì)，LC300均能滿足您的需求。?可選擇高效液相色譜(10kpsi)或超高效液相色譜(18kpsi)系統(tǒng)，以滿足您實(shí)驗(yàn)室的具體需求?四個(gè)獨(dú)立的線性馬達(dá)驅(qū)動(dòng)和控制色譜泵柱塞桿，精確控制流量，消除壓力波動(dòng)?先進(jìn)的流路控制及進(jìn)樣閥技術(shù)2025
02-19GC 2400™氣相色譜儀特點(diǎn)與應(yīng)用
在容易操作的GC2400™氣相色譜儀SimplicityChromCDS系統(tǒng)為分析人員帶來(lái)了全新的操作體軟件驅(qū)動(dòng)下實(shí)現(xiàn)GC系統(tǒng)的自動(dòng)化流程。此外，憑借便捷的儀器維護(hù)操作，GC2400系統(tǒng)大大提高了生產(chǎn)效率，延長(zhǎng)儀器運(yùn)行時(shí)間。1、SimplicityChromCDS來(lái)全新的智能體驗(yàn)軟件,直觀的工作流和圖標(biāo)化界面,2、分體式觸摸屏，助您隨時(shí)隨地做出決策3、即插即用的、無(wú)需配置的液體自動(dòng)進(jìn)樣器滿足各種通量需求4、易拆卸式檢測(cè)器，實(shí)現(xiàn)靈活應(yīng)用和升級(jí)5、小體積，多功能的先進(jìn)氣體管理系統(tǒng)，實(shí)現(xiàn)精密度、可靠性掃一掃訪問(wèn)手機(jī)商鋪
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