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            脈沖激光沉積系統(tǒng)激光光路

            具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
            • 公司名稱 北京瑞科中儀科技有限公司
            • 品牌 其他品牌
            • 型號(hào)
            • 產(chǎn)地
            • 廠商性質(zhì) 經(jīng)銷商
            • 更新時(shí)間 2024/7/10 14:31:28
            • 訪問次數(shù) 968
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            脈沖激光沉積系統(tǒng)激光光路

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            北京瑞科中儀科技有限公司專注半導(dǎo)體材料研究分析設(shè)備的研發(fā)和應(yīng)用。專業(yè)的團(tuán)隊(duì),專精的服務(wù),提供理想的解決方案。

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            北京瑞科中儀科技有限公司長期代理銷售供應(yīng)多種分子材料的研究分析設(shè)備,其中包括但不限于掃描電子顯微鏡、感應(yīng)耦合等離子體化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)、離子束刻蝕機(jī)、等離子清洗機(jī)、物理氣相沉積系統(tǒng)以及各品牌的光學(xué)顯微鏡以及實(shí)驗(yàn)室設(shè)備儀器。

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            半導(dǎo)體材料分析,材料刻蝕

            價(jià)格區(qū)間 10萬-50萬 應(yīng)用領(lǐng)域 生物產(chǎn)業(yè),石油,能源,交通,綜合

            脈沖激光沉積系統(tǒng)激光光路主要包括以下幾個(gè)部分:

            1. 激光器:這是光路的核心部分,通常使用脈沖激光器,激光器的波長大多在200-400nm范圍內(nèi),這是因?yàn)榇蠖鄶?shù)材料在此波長范圍內(nèi)處于強(qiáng)吸收狀態(tài)。

            2. 光闌掃描器、聚光鏡和透光窗:這些設(shè)備用于調(diào)整和控制激光光束的路徑和特性。光束經(jīng)過激光器窗口、反射鏡、光圈和透鏡,最終轟擊靶材表面。

            3. 光路調(diào)整:由于紫外光強(qiáng)度很大,對人眼具有嚴(yán)重的傷害作用,因此激光光路的調(diào)整通常借助小能量的He-Ne激光器來完成。首先將He-Ne激光器置于光路中KeF激光器光口前方,并調(diào)整與KeF激光器的光路相重合,再次調(diào)節(jié)真空腔窗口前的凸鏡,使光恰好射入靶材正中央。

            4. 聚焦鏡:通過調(diào)整聚焦鏡的距離,可以改變光斑的尺寸,從而獲得合適的激光能量密度。

            在整個(gè)光路中,需要嚴(yán)格控制各個(gè)部分的位置和參數(shù),以保證激光光束能夠以最佳的狀態(tài)轟擊靶材表面,從而制備出高質(zhì)量的薄膜。當(dāng)然,以下是對脈沖激光沉積系統(tǒng)激光光路的進(jìn)一步詳細(xì)描述:

            5. 靶材和基片:靶材是激光脈沖轟擊的對象,它的材料決定了要沉積在基片上的薄膜的成分。基片則是用來接收沉積的薄膜的基底,可以是各種材料,如玻璃、單晶硅、藍(lán)寶石等。靶材和基片通常都位于真空腔室內(nèi),以確保沉積過程不受外界環(huán)境的干擾。

            6. 真空系統(tǒng):真空系統(tǒng)主要由真空泵和真空計(jì)組成,用于維持真空腔室內(nèi)的高真空環(huán)境。高真空環(huán)境可以防止沉積過程中由于氣體分子的存在而產(chǎn)生的污染,從而提高薄膜的質(zhì)量。

            7. 控制系統(tǒng):控制系統(tǒng)負(fù)責(zé)控制激光器的脈沖頻率、能量、光斑大小等參數(shù),以及靶材和基片的旋轉(zhuǎn)、加熱等動(dòng)作??刂葡到y(tǒng)通過精確控制這些參數(shù)和動(dòng)作,可以保證沉積過程的穩(wěn)定性和重復(fù)性。

            8. 冷卻系統(tǒng):由于激光脈沖會(huì)產(chǎn)生大量的熱量,因此需要對靶材和基片進(jìn)行冷卻,以防止熱損傷。冷卻系統(tǒng)通常由水冷或氣冷設(shè)備組成,可以有效地將熱量從靶材和基片中導(dǎo)出。

            9. 沉積過程監(jiān)控和診斷:為了確保沉積過程的穩(wěn)定性和薄膜的質(zhì)量,還需要對沉積過程進(jìn)行監(jiān)控和診斷。這可以通過各種在線監(jiān)測設(shè)備來實(shí)現(xiàn),如光譜儀、表面粗糙度計(jì)、橢偏儀等。

            總的來說,脈沖 激光沉積系統(tǒng)激光光路是一個(gè)高度復(fù)雜和精密的系統(tǒng),需要各個(gè)部分的緊密配合和精確控制,才能制備出高質(zhì)量的薄膜。同時(shí),隨著科技的發(fā)展,脈沖 激光沉積技術(shù)也在不斷地進(jìn)步和優(yōu)化,為薄膜科學(xué)和工業(yè)應(yīng)用提供了強(qiáng)大的支持。




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