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            脈沖激光沉積樣品臺(tái)

            具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
            • 公司名稱 北京瑞科中儀科技有限公司
            • 品牌 其他品牌
            • 型號(hào)
            • 產(chǎn)地
            • 廠商性質(zhì) 經(jīng)銷商
            • 更新時(shí)間 2024/7/10 14:35:59
            • 訪問(wèn)次數(shù) 545
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            脈沖激光沉積樣品臺(tái)

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            北京瑞科中儀科技有限公司專注半導(dǎo)體材料研究分析設(shè)備的研發(fā)和應(yīng)用。專業(yè)的團(tuán)隊(duì),專精的服務(wù),提供理想的解決方案。

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            半導(dǎo)體材料分析,材料刻蝕

            價(jià)格區(qū)間 10萬(wàn)-50萬(wàn) 應(yīng)用領(lǐng)域 化工,生物產(chǎn)業(yè),交通,制藥,綜合

            脈沖激光沉積樣品臺(tái)是一種物理氣相沉積技術(shù),用于在襯底上生長(zhǎng)高質(zhì)量的薄膜。脈沖激光沉積樣品臺(tái)是一個(gè)關(guān)鍵組件,用于支撐和加熱待沉積的樣品。

            樣品臺(tái)的主要功能是提供一個(gè)均勻且穩(wěn)定的加熱環(huán)境,以促進(jìn)材料從靶材到襯底的轉(zhuǎn)移。在脈沖激光沉積過(guò)程中,高能量的激光脈沖轟擊靶材,使靶材表面的原子或分子蒸發(fā),并沉積在襯底上形成薄膜。為了有效地進(jìn)行這一過(guò)程,樣品臺(tái)需要能夠精確地控制溫度,以確保沉積的材料具有所需的晶體結(jié)構(gòu)和性質(zhì)。

            此外,樣品臺(tái)還需要具備足夠的穩(wěn)定性和耐久性,以承受脈沖激光沉積過(guò)程中產(chǎn)生的高溫、高壓和其他條件。因此,樣品臺(tái)通常由耐高溫、耐腐蝕的材料制成,如陶瓷或金屬。

            總之,脈沖 激光沉積樣品臺(tái)是脈沖激光沉積系統(tǒng)中的重要組成部分,對(duì)于確保沉積過(guò)程的穩(wěn)定性和高效性至關(guān)重要。除了基本的加熱和穩(wěn)定性要求外,脈沖激光沉積 樣品臺(tái)的設(shè)計(jì)還需要考慮以下幾個(gè)方面:

            1. **溫度控制精度**:在薄膜生長(zhǎng)過(guò)程中,溫度是一個(gè)非常重要的參數(shù)。因此,樣品臺(tái)需要具備精確的溫度控制功能,以確保在沉積過(guò)程中溫度保持穩(wěn)定,從而獲得高質(zhì)量的薄膜。

            2. **樣品臺(tái)的形狀和尺寸**:樣品臺(tái)的形狀和尺寸應(yīng)與靶材和襯底的尺寸相匹配,以便能夠均勻地加熱靶材,并確保激光脈沖能夠充分作用在靶材表面。

            3. **熱傳遞效率**:為了快速達(dá)到所需的溫度,樣品臺(tái)需要具有良好的熱傳遞性能。這通常通過(guò)在樣品臺(tái)內(nèi)部加入熱電阻或熱電偶等溫度傳感器來(lái)實(shí)現(xiàn),以便能夠?qū)崟r(shí)監(jiān)測(cè)和控制樣品的溫度。

            4. **樣品的固定和更換**:樣品臺(tái)需要提供一種可靠的方式來(lái)固定靶材,并便于在沉積過(guò)程中更換靶材。這通常通過(guò)設(shè)計(jì)特定的夾具或支架來(lái)實(shí)現(xiàn),以確保靶材在沉積過(guò)程中保持固定且位置不變。

            5. **光學(xué)窗口**:為了觀察和控制沉積過(guò)程,樣品臺(tái)通常配備有光學(xué)窗口。這個(gè)窗口需要具有高透光性,以便能夠清晰地觀察靶材表面的激光脈沖和沉積過(guò)程。

            綜上所述,脈沖 激光沉積樣品臺(tái)的設(shè)計(jì)需要綜合考慮多個(gè)方面,包括溫度控制、形狀尺寸、熱傳遞效率、樣品固定和更換以及光學(xué)窗口等。通過(guò)合理的設(shè)計(jì)和制造,可以獲得高性能的樣品臺(tái),從而支持脈沖激光沉積技術(shù)的高效和穩(wěn)定應(yīng)用。




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