化工儀器網(wǎng)>產(chǎn)品展廳>工業(yè)在線及過(guò)程控制儀>流量計(jì)流速儀/測(cè)漏儀>質(zhì)量流量計(jì)>SEC-Z512/514//522/524 HORIBA高性能數(shù)字質(zhì)量流量控制器
SEC-Z512/514//522/524 HORIBA高性能數(shù)字質(zhì)量流量控制器
| 參考價(jià) | ￥ 18000 |
| 訂貨量 | ≥1件 |
- 公司名稱(chēng) 曦源科學(xué)儀器（上海）有限公司
- 品牌 HORIBA/堀場(chǎng)
- 型號(hào) SEC-Z512/514//522/524
- 產(chǎn)地 北京
- 廠商性質(zhì) 代理商
- 更新時(shí)間 2025/4/8 9:30:59
- 訪問(wèn)次數(shù) 54
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| 產(chǎn)地類(lèi)別 | 進(jìn)口 | 產(chǎn)品種類(lèi) | 差壓式 |
|---|---|---|---|
| 價(jià)格區(qū)間 | 面議 | 介質(zhì)分類(lèi) | 氣體 |
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 環(huán)保,食品/農(nóng)產(chǎn)品,化工,電子/電池,制藥/生物制藥 | 控制范圍 | 10 SCCM ～ 500 SLM（以氮?dú)?N? 為基準(zhǔn)） |
| 支持氣體 | 多種氣體（支持用戶(hù)自定義設(shè)置） | 控制精度 | ±1.0% S.P. |
| 響應(yīng)時(shí)間 | ≤ 1 秒 | 通信接口 | 模擬（0-5 V / 4-20 mA）、數(shù)字、DeviceNet?、EtherCAT? |
SEC-Z512/514//522/524 HORIBA高性能數(shù)字質(zhì)量流量控制器
產(chǎn)品概述
HORIBA 的 SEC-Z500X 系列是HORIBA高性能數(shù)字質(zhì)量流量控制器（Mass Flow Controller, MFC），集成多氣體/多量程功能，具備出色的精度、響應(yīng)速度和穩(wěn)定性，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、光伏、光纖制造等高要求工業(yè)過(guò)程控制場(chǎng)景。
產(chǎn)品特點(diǎn)
寬流量控制范圍
控制范圍覆蓋 10 SCCM ～ 500 SLM，適配各種氣體和工藝需求。高控制精度
控制精度高達(dá) ±1.0% S.P.，裝配“可變 PID 系統(tǒng)”，可在任意兩個(gè)設(shè)定點(diǎn)之間實(shí)現(xiàn) 1 秒響應(yīng)。多種通訊接口
支持 RS485、DeviceNet™、PROFIBUS™、EtherCAT® 及模擬 0–5V DC 信號(hào)輸出，便于系統(tǒng)集成。多供電及密封選項(xiàng)
支持 ±15VDC 與 24VDC 兩種供電，提供橡膠密封或金屬密封可選，適應(yīng)不同使用環(huán)境。優(yōu)異的長(zhǎng)期穩(wěn)定性與耐久性
高可靠性設(shè)計(jì)，適應(yīng)嚴(yán)苛工業(yè)環(huán)境，減少維護(hù)頻次。
技術(shù)規(guī)格
適用場(chǎng)景
半導(dǎo)體制造：CVD、Etching、Oxidation、Diffusion 等工藝氣體精密控制
光伏與光電子制造
光纖預(yù)制棒與拉絲過(guò)程控制
精密材料薄膜沉積（PVD/CVD）
化學(xué)氣相反應(yīng)與配比混氣控制
大氣/真空環(huán)境下的實(shí)驗(yàn)室測(cè)試設(shè)備
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