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SEC-8000 F/D/E 系列 高溫數(shù)字式質(zhì)量流量控制器
| 參考價 | ￥ 20000 |
| 訂貨量 | ≥1件 |
- 公司名稱 曦源科學(xué)儀器（上海）有限公司
- 品牌 HORIBA/堀場
- 型號 SEC-8000 F/D/E 系列
- 產(chǎn)地 北京
- 廠商性質(zhì) 代理商
- 更新時間 2025/4/7 16:55:23
- 訪問次數(shù) 28
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| 產(chǎn)地類別 | 進口 | 產(chǎn)品種類 | 差壓式 |
|---|---|---|---|
| 價格區(qū)間 | 面議 | 介質(zhì)分類 | 氣體 |
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 環(huán)保,食品/農(nóng)產(chǎn)品,化工,電子/電池,汽車及零部件 | 動態(tài)范圍 | 3 SCCM 至 150 SLPM（具體視氣體種類與型號而定） |
| 支持氣體 | 各類高純氣體、腐蝕性氣體 | 控制精度 | ±1.0% |
| 響應(yīng)時間 | ≤1 秒 | 通信接口 | 數(shù)字：RS485（SEC-8000F），DeviceNet（SEC-8000D） |
| 使用溫度 | 5～50°C | 工作壓力 | 1 ~ 3 bar |
| 接口類型 | 1/4 |
HORIBA SEC-8000F/D/E 系列 高溫數(shù)字式質(zhì)量流量控制器
產(chǎn)品概述
HORIBA SEC-8000 F/D/E 系列是一款專為高溫環(huán)境設(shè)計的高溫數(shù)字式質(zhì)量流量控制器（MFC），適用于 15°C 至 120°C 的使用溫度范圍。該系列產(chǎn)品集成了高精度控制、快速響應(yīng)和高潔凈設(shè)計，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、光伏和光纖等行業(yè)的高溫氣體流程管理。
產(chǎn)品特點
高溫適用性：可在 15°C 至 120°C 的環(huán)境下穩(wěn)定運行，滿足苛刻工藝條件。
高精度控制：控制精度高達 ±1.0% of S.P.，確保關(guān)鍵工藝中流量穩(wěn)定可靠。
快速響應(yīng)性能：響應(yīng)時間短，提高系統(tǒng)整體效率，適合動態(tài)氣體控制需求。
全金屬超潔凈設(shè)計：適用于高純氣體和腐蝕性氣體，適配最嚴(yán)苛潔凈度要求。
多種通訊協(xié)議：支持?jǐn)?shù)字（RS485）與 DeviceNet 通訊（根據(jù)型號區(qū)分）。
環(huán)保合規(guī)：通過 RoHS 標(biāo)準(zhǔn)，降低對環(huán)境的影響。
技術(shù)規(guī)格
| 參數(shù) | 數(shù)值 |
| 控制范圍 | 3 SCCM 至 150 SLPM（具體視氣體種類與型號而定） |
| 支持氣體 | 各類高純氣體、腐蝕性氣體 |
| 控制精度 | ±1.0% of Set Point（1~100% F.S.） |
| 重復(fù)精度 | ±0.2% of F.S. |
| 響應(yīng)時間 | ≤1 秒 |
| 通信接口 | 數(shù)字：RS485（SEC-8000F），DeviceNet（SEC-8000D） |
| 工作壓力 | 1 ~ 3 bar |
| 使用溫度 | 15～120°C |
| 接口類型 | 1/4", 1/2" VCR®, Swagelok®, 面密封等可選 |
| 電源要求 | 24 VDC ±10% |
| 認(rèn)證標(biāo)準(zhǔn) | SCE、RoHS、SEMI 等 |
應(yīng)用領(lǐng)域
半導(dǎo)體制造工藝（刻蝕、沉積、擴散等）
化合物半導(dǎo)體器件生產(chǎn)
光伏電池制造
光纖與特種玻璃材料處理
精密材料熱處理氣氛控制
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