HORIBA S600 BR212/BR222 氣體質(zhì)量流量控制器
參考價 | ¥ 5000 |
訂貨量 | ≥1件 |
- 公司名稱 曦源科學(xué)儀器(上海)有限公司
- 品牌 HORIBA/堀場
- 型號 HORIBA S600 BR212/BR222
- 產(chǎn)地 北京
- 廠商性質(zhì) 代理商
- 更新時間 2025/4/7 17:33:28
- 訪問次數(shù) 26
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產(chǎn)地類別 | 進口 | 產(chǎn)品種類 | 差壓式 |
---|---|---|---|
價格區(qū)間 | 面議 | 介質(zhì)分類 | 氣體 |
應(yīng)用領(lǐng)域 | 環(huán)保,食品/農(nóng)產(chǎn)品,化工,電子/電池,制藥/生物制藥 | 控制范圍 | 3 SCCM到500 SLM |
支持氣體 | 多種氣體(支持用戶自定義設(shè)置) | 控制精度 | ±1.0% |
響應(yīng)時間 | ≤1.5 秒 | 通信接口 | RS-485、DeviceNet、EtherCAT、模擬(0–5V/4–20mA) |
HORIBA S600 BR212/BR222氣體質(zhì)量流量控制器
產(chǎn)品概述
S600 BR212/BR222氣體質(zhì)量流量控制器由日本HORIBA STEC公司研發(fā),是一款高性能、高可靠性的MFC產(chǎn)品,適用于半導(dǎo)體、光伏、生物醫(yī)藥、食品包裝等多個制造領(lǐng)域。該系列控制器采用優(yōu)良的數(shù)字控制技術(shù),具備出色的穩(wěn)定性、精度及通訊能力,廣泛應(yīng)用于對氣體流量控制要求較高的場合。
產(chǎn)品特點
寬流量控制范圍
控制范圍覆蓋 3 SCCM 到 500 SLM,適配各種氣體和工藝需求。高控制精度
控制精度高達 ±1.0% S.P.,響應(yīng)時間小于 1.5 秒,確??刂七^程的高一致性。多種通訊接口
支持 RS485、DeviceNet™、PROFIBUS™、EtherCAT® 及模擬 0–5V DC 信號輸出,便于系統(tǒng)集成。多供電及密封選項
支持 ±15VDC 與 24VDC 兩種供電,提供橡膠密封或金屬密封可選,適應(yīng)不同使用環(huán)境。優(yōu)異的長期穩(wěn)定性與耐久性
高可靠性設(shè)計,適應(yīng)嚴(yán)苛工業(yè)環(huán)境,減少維護頻次。
技術(shù)規(guī)格
適用場景
半導(dǎo)體制造
光刻、離子注入、CVD、PVD等氣體控制場合。光伏設(shè)備制造
多晶硅擴散、PECVD等。生物制藥行業(yè)
精密氣體反應(yīng)控制、細胞發(fā)酵培養(yǎng)氣氛調(diào)節(jié)。食品和飲料
氣調(diào)包裝、注氮灌裝、飲料殺菌與保存過程。工業(yè)爐與熱處理設(shè)備
氣氛控制,提升熱處理質(zhì)量與一致性。