HORIBA科學(xué)儀器事業(yè)部
拉曼+半導(dǎo)體4H-SiC+不同層載流子濃度
檢測樣品：半導(dǎo)體4H-SiC
檢測項目：半導(dǎo)體不同層載流子濃度
方案概述：利用共聚焦拉曼進行分析時，不同的激發(fā)光可以檢測不同濃度的載流子信息，比如325 nm激光輻照可以檢測低濃度載流子信息；2、同樣是在325 nm激光輻照下，樣品內(nèi)產(chǎn)生的光生載流子濃度會隨著離子改性層中鋁離子注入劑量的增加而減弱；3、這些都表明了共聚焦拉曼在載流子濃度表征方面的便利與優(yōu)勢。
在對一系列具有不同載流子濃度的EPI層和基底層構(gòu)成的4H-SiC樣品進行對比分析后，團隊人員發(fā)現(xiàn)，隨著探針由樣品內(nèi)部基底層上移至樣品表面EPI層，對應(yīng)的LOPC峰位出現(xiàn)一種趨勢：先平穩(wěn)不動，隨后逐漸往低波數(shù)方向移動（藍移）（如下圖7所示）。我們從上述研究已經(jīng)知道LOPC峰是對載流子濃度很敏感的峰，這一藍移現(xiàn)象意味著：從基底層到外延層，載流子存在濃度梯度。再通過對拉曼結(jié)果的計算分析，團隊人員就獲得了不同層對應(yīng)的載流子濃度梯度。
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