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邁可諾技術(shù)有限公司
主營產(chǎn)品： 美國Laurell勻膠機(jī),WS1000濕法刻蝕機(jī),Cargille光學(xué)凝膠,EDC-650顯影機(jī),NOVASCAN紫外臭氧清洗機(jī) |
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邁可諾技術(shù)有限公司
主營產(chǎn)品： 美國Laurell勻膠機(jī),WS1000濕法刻蝕機(jī),Cargille光學(xué)凝膠,EDC-650顯影機(jī),NOVASCAN紫外臭氧清洗機(jī) |
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| 參考價(jià) | 面議 |
更新時(shí)間：2024-05-16 16:47:05瀏覽次數(shù)：6609
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| 產(chǎn)地類別 | 進(jìn)口 | 價(jià)格區(qū)間 | 面議 |
|---|---|---|---|
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 電子 |
腔室材料是硬質(zhì)陽極氧化鋁， 有幾種不同的電極設(shè)計(jì)，包括用于反應(yīng)離子刻蝕（RIE）和平面處理的水冷平板電極，用于表面清洗或處理的交替多層托盤電極，用于小化離子損傷的下游電極，和用于普通的圓柱形籠式電極。
1、腔體尺寸：直徑≥200mm，深度≥280mm；
2、腔體材質(zhì)：硬質(zhì)陽極氧化鋁矩形腔體；
3、處理腔背面材質(zhì)：鋁；
4、處理腔門：要求全自動腔門；
5、兩路工藝氣體，≥2路質(zhì)量流量控制器控制氣體流量，氣體輸入腔室?guī)蛄髟O(shè)計(jì)；
6、射頻功率：0~600W連續(xù)可調(diào)，13.56MHz，自動匹配，自然風(fēng)冷；
7、配備RIE平面水冷平板電極；
8、7英寸及以上顯示器、觸摸屏、圖形用戶界面；
9、程序控制：觸摸屏電腦控制，無線程序存儲；
10、Windows操作系統(tǒng)，兼容Windows office軟件，USB接口，可進(jìn)行外部電腦遠(yuǎn)程控制的功能；
11、狀態(tài)和出錯信息提示，過程數(shù)據(jù)和出錯信息存儲，可選擇自動和手動操作模式，過程數(shù)據(jù)可以導(dǎo)出，工藝參數(shù)以圖形方式呈現(xiàn)，可實(shí)時(shí)監(jiān)控，自動實(shí)現(xiàn)泄露檢測；
12、配套緊急急停按鈕（EMO)，配套電路斷路器，機(jī)械聯(lián)鎖（門傳感器）和真空聯(lián)鎖（壓力開關(guān)），通過軟件可進(jìn)行遠(yuǎn)程的真空聯(lián)鎖；
13、典型的光刻膠刻蝕速率：80nm/min；
14、典型工藝均勻性：≥±10%；
