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            邁可諾技術(shù)有限公司

            主營(yíng)產(chǎn)品: 美國(guó)Laurell勻膠機(jī),WS1000濕法刻蝕機(jī),Cargille光學(xué)凝膠,EDC-650顯影機(jī),NOVASCAN紫外臭氧清洗機(jī)

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            聯(lián)系電話

            13681069478

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            公司信息

            聯(lián)人:
            鄧經(jīng)理
            話:
            4008800298
            機(jī):
            13681069478
            真:
            址:
            洪山區(qū)珞獅南路147號(hào)未來(lái)城A棟
            編:
            個(gè)化:
            www.mycro.net.cn
            網(wǎng)址:
            www.mycro.cn
            鋪:
            http://apwanrong.com/st119375/
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            PlasmaStar 200/200 RIE等離子刻蝕機(jī)
            等離子刻蝕機(jī)
            參考價(jià) 面議
            具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
            • 型號(hào) PlasmaStar 200/200 RIE
            • 品牌 其他品牌
            • 廠商性質(zhì) 代理商
            • 所在地 北京市

            更新時(shí)間:2024-05-16 13:24:28瀏覽次數(shù):6244

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            【簡(jiǎn)單介紹】
            應(yīng)用領(lǐng)域 電子
            PlasmaSTAR®模塊化腔室和電極組件是該系統(tǒng)的*功能。 腔室材料是硬質(zhì)陽(yáng)極氧化鋁, 有幾種不同的電極設(shè)計(jì),包括用于反應(yīng)離子刻蝕(RIE)和平面處理的水冷平板電極,用于表面清洗或處理的交替多層托盤電極,用于小化離子損傷的下游電極,和用于普通的圓柱形籠式電極。
            【詳細(xì)說(shuō)明】

            型號(hào): 反應(yīng)離子刻蝕機(jī)PlasmaStar 200/200RIE

            產(chǎn)地: 美國(guó)

            品牌: Axic

            環(huán)球供應(yīng),本地服務(wù)!MYCRO專業(yè)為您提供實(shí)驗(yàn)室RIE反應(yīng)離子刻蝕機(jī)設(shè)備,*的技術(shù)服務(wù)及售后,MYCRO值得您的的信賴!

            技術(shù)規(guī)格:

            型號(hào)

            PlasmaStar  100

            PlasmaStar

            100RIE

            PlasmaStar 200

            PlasmaStar 200RIE

            艙體尺寸

            直徑254×深度356mm

            直徑200×深度280mm

            305×高305×深406mm

            305 ×高200×深406mm

            艙體材質(zhì)

            標(biāo)配為陽(yáng)極氧化鋁艙體

            常用氣體

            空氣,氧氣,氫氣,氬氣,氮?dú)猓?/span>CF4,SF6等和其他混合氣體

            氣路控制

            標(biāo)配2MFCPlasmaStar  100多可選配4路,

            標(biāo)配2MFCPlasmaStar  200多可選配5路;

            控制系統(tǒng)

            電阻觸摸屏操作界面

            程序控制

            PC觸屏控制,可編程序,無(wú)線存儲(chǔ)數(shù)據(jù)

            射頻頻率

            13.56 MHz

            射頻功率

            0~600W瓦之間距連續(xù)可調(diào),自動(dòng)匹配

            0~1000W瓦之間距連續(xù)可調(diào),自動(dòng)匹配

            電極設(shè)計(jì)

            標(biāo)準(zhǔn)圓柱形籠式電極;

            標(biāo)準(zhǔn)圓柱形籠式電極;

            可選交替多層托盤電極;

            可選RIE平面處理水冷平板電極

            設(shè)備尺寸

             800 x 850 x 525mm

            1033 x 850 x 635mm;

             



            產(chǎn)品對(duì)比 產(chǎn)品對(duì)比 二維碼

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