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            邁可諾技術(shù)有限公司

            主營產(chǎn)品: 美國Laurell勻膠機(jī),WS1000濕法刻蝕機(jī),Cargille光學(xué)凝膠,EDC-650顯影機(jī),NOVASCAN紫外臭氧清洗機(jī)

            12

            聯(lián)系電話

            13681069478

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            公司信息

            聯(lián)人:
            鄧經(jīng)理
            話:
            4008800298
            機(jī):
            13681069478
            真:
            址:
            洪山區(qū)珞獅南路147號未來城A棟
            編:
            化:
            www.mycro.net.cn
            網(wǎng)址:
            www.mycro.cn
            鋪:
            http://apwanrong.com/st119375/
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            GM1010/GM1020/GM1075EM Resist SU-8負(fù)性抗蝕劑
            EM Resist SU-8負(fù)性抗蝕劑
            參考價 面議
            具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)
            • 型號 GM1010/GM1020/GM1075
            • 品牌 其他品牌
            • 廠商性質(zhì) 代理商
            • 所在地 北京市

            更新時間:2024-05-17 11:25:25瀏覽次數(shù):2427

            聯(lián)系我們時請說明是化工儀器網(wǎng)上看到的信息,謝謝!

            【簡單介紹】
            CAS 28906-96-9 供貨周期 一個月以上
            應(yīng)用領(lǐng)域 化工,電子 主要用途 適合半導(dǎo)體應(yīng)用
            EM Resist SU-8負(fù)性抗蝕劑產(chǎn)品,非常適合半導(dǎo)體應(yīng)用。我們的產(chǎn)品有各種形式和厚度范圍。
            典型的SU-8過程包括以下步驟:
            基板準(zhǔn)備 旋涂 松弛時間以提高表面均勻度 軟烤 曝光后烘烤 發(fā)展歷程 沖洗并干燥 可選硬烤
            【詳細(xì)說明】

            EM Resist SU-8負(fù)性抗蝕劑產(chǎn)品,非常適合半導(dǎo)體應(yīng)用。我們的產(chǎn)品有各種形式和厚度范圍。

            產(chǎn)品                  膜厚范圍            涂層選項

            GM1010           <0.2微米           噴涂外套

            GM1020           0.2-0.5微米      旋轉(zhuǎn),噴涂,噴墨

            GM1030           0.5-1.2微米      旋轉(zhuǎn),噴涂,噴墨

            GM1040           0.9-3.2微米      旋轉(zhuǎn),噴涂,噴墨

            GM1050            3-8微米              旋轉(zhuǎn),噴墨

            GM1060            2-27微米            旋轉(zhuǎn),噴墨

            GM1070           15-200微米         旋轉(zhuǎn),噴墨

            GM1075           100-400微米       旋轉(zhuǎn),噴墨

            小訂購量為250mL

             

            SML Resist是一種高分辨率,高縱橫比的正色調(diào)電子束抗蝕劑。EM Resist SU-8負(fù)性抗蝕劑具有出色的附著力和出色的抗干蝕刻性。SML可用于MEMS,波帶片,光子學(xué)和許多其他納米加工應(yīng)用

            SML電子束抗蝕劑的厚度范圍從50nm2μm,起始體積僅為50mL。

            高性能SML電子束抗蝕劑是一種新型聚合物,專為滿足EBL社區(qū)的需求而設(shè)計。即使在低加速電壓下,也無需借助鄰近效應(yīng)校正,就可以同時將其圖案化為高分辨率和高長寬比的圖案。

            SML抗蝕劑經(jīng)過專門設(shè)計,可與標(biāo)準(zhǔn)PMMA工藝配合使用。無需更改化學(xué)或過程培訓(xùn)。

            產(chǎn)品范圍–厚度

            SML5040nm 100nm

            SML10090nm 210nm

            SML300250nm 600nm

             

            技術(shù)指標(biāo)

            高分辨率:<10nm

            *的寬高比:

            30 kV> 101

            > 501 @ 100 kV

            厚度:50 nm 2000 nm

             

            PMMA抗蝕劑是用于電子束光刻的行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)正性抗蝕劑。我們提供各種分子量和厚度的PMMA。

            PMMA Resist是行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)的電子束抗蝕劑,廣泛用于學(xué)術(shù)界和工業(yè),用于高分辨率功能和剝離應(yīng)用。它也可以用于納米壓印應(yīng)用以及其他晶圓廠和研發(fā)過程,例如石墨烯薄片轉(zhuǎn)移。



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