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小型臺式無掩膜光刻系統(tǒng)
小型臺式無掩膜光刻系統(tǒng)Microwriter ML3是英國Durham Magneto Optics公司為實驗室設計開發(fā)，為微流控、SAW、半導體、自旋電子學等研究域提供方便高效的微加工方案。
傳統(tǒng)的光刻工藝中所使用的鉻玻璃掩膜板需要由業(yè)供應商提供，但是在研發(fā)環(huán)境中，掩膜板的設計通常需要經(jīng)常改變。無掩膜光刻技術通過以軟件設計電子掩膜板 的方法，克服了這問題。與通過物理掩膜板進行光照的傳統(tǒng)工藝不同，激光直寫是通過電腦控制系列激光脈沖的開關，在光刻膠上直接曝光繪出所要的圖案。
Microwriter ML3 是款多功能激光直寫光刻系統(tǒng)，具有結構小巧緊湊(70cm X 70cm X 70cm)，無掩膜直寫系統(tǒng)的靈活性，還擁有高直寫速度，高分辨率的點。采用集成化設計，全自動控制，可靠性高，操作簡便。適用于各種實驗室桌面。
產(chǎn)品點
| Focus Lock自動對焦功能 Focus Lock技術是用自動對焦功能對樣品表面高度進行探測，并通過Z向調整和補償，以保證曝光分辨率。 | 光學輪廓儀 Microwriter ML3 配備光學輪廓探測工具，用于勻膠后沉積層，蝕刻層，MEMS等前道結構的形貌探測與套刻。Z向高精度100 nm，方便快捷。 |
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| 標記物自動識別 點擊“Bulls-Eye”按鈕，系統(tǒng)自動在顯微鏡圖像中識別光刻標記。標記物被識別后，將自動將其移動到顯微鏡中心位置。 | 直寫前預檢查 軟件可以實時顯微觀測基體表面，并顯示預直寫圖形位置。通過實時調整位置、角度，直到設計圖形按要求與已有結構重合，保證直寫準確。 |
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簡單的直寫軟件 MicroWriter 由個簡單直觀的Windows界面軟件控制。工具欄會引導使用者進行簡單的布局設計、基片對準和曝光的基本操作。該軟件在Windows10系統(tǒng)下運行。 | Clewin 掩模圖形設計軟件 可以讀取多種圖形設計文件（DXF, CIF, GDSII, 等） 可以直接讀取TIFF, BMP 等圖片格式 書寫范圍只由基片尺寸決定 |
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產(chǎn)品參數(shù)
| Microwriter ML3 | 基本型 | 增強型 | 旗艦型 |
| 大樣品尺寸 | 155×155×7mm | 155×155×7mm | 230×230×15mm |
| 大直寫面積 | 149mm x 149mm | 149mm x 149mm | 195mm x 195mm |
| 曝光光源 | 405 nm LED 1.5W | 405 nm LED 1.5W | 385 nm LED 適用于SU-8 （365+405nm雙光源可選） |
| 直寫分辨率 | 1μm | 1μm and 5 μm | 0.6μm, 1μm, 2μm, 5μm |
| 直寫速度 | 20mm2/min @ 1μm | 20mm2/min @ 1μm 120mm2/min @ 5μm | 25mm2/min @ 0.6μm 50mm2/min @ 1μm 100mm2/min @ 2μm 180mm2/min @ 5μm |
| 對準顯微鏡鏡頭 | x10 | x3 and x10 自動切換 | x3, x5, x10, x20 自動切換 |
| 多層套刻精度 | ±1μm | ±1μm | ±0.5μm |
| 小柵格精度 | 200nm | 200nm | 100nm |
| 樣品臺小步長 | 100nm | 100nm | 50nm |
| 光學輪廓Z分辨率 | 無(可升) | 300nm | 100nm |
| 樣品表面自動對焦 | 是 | 是 | 是 |
| 灰度直寫(255) | 是 | 是 | 是 |
| 自動晶片檢查工具 | 無(可升) | 有 | 有 |
| 溫控樣品腔室 | 無 (可升) | 無 (可升) | 有 |
| 虛擬模板校準工具 | 無(可升) | 無(可升) | 有 |
| 氣動減震光學平臺 | 無(可升) | 無(可升) | 有 |
應用案例
直寫分辨率1μm
直寫分辨率0.6μm
微電制備
| 光刻膠上的圖形 | Au電 （SEM） | Au電（SEM） |
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| 設計圖 | 光刻膠上的圖形 | 放大圖的顯微結構 |
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微結構制備
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微流通道制備
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其他相關產(chǎn)品
