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            智能型三溫區(qū)PECVD

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            參考價 面議
            具體成交價以合同協(xié)議為準
            • 型號
            • 品牌 貝意克
            • 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)商
            • 所在地 合肥市
            在線詢價 收藏產(chǎn)品

            更新時間:2024-08-01 14:23:17瀏覽次數(shù):3383

            聯(lián)系我們時請說明是化工儀器網(wǎng)上看到的信息,謝謝!

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            產(chǎn)品簡介

            產(chǎn)地類別 國產(chǎn) 價格區(qū)間 面議
            儀器種類 管式爐 應用領域 環(huán)保,化工,能源,電子/電池,電氣
            智能型三溫區(qū)PECVD產(chǎn)品簡介:本設備主要針對實驗和中試石墨烯生長和制備使用,同時該設備可以用于碳納米管的生長。可制備出高質(zhì)量的透明導電膜,用作手機觸摸屏,平板電腦,智能穿戴,傳感器等領域。

            詳細介紹

            BTF-1200C-PECVD高溫真空爐加熱腔體采用氧化鋁纖維制品,其極低的熱導率和比熱容,保證了爐膛的快速升溫和低蓄熱,特別適合于科研單位的材料工藝研究。加熱元件選用電阻絲加熱,有利于爐內(nèi)溫度場的均勻分布。高溫真空電阻爐溫度控制系統(tǒng)采用經(jīng)典的閉環(huán)負反饋控制系統(tǒng),控溫儀表選用智能型程序溫度調(diào)節(jié)儀表控溫,電力調(diào)制器控制;負載采用小電壓大電流控制,從而大大提高了發(fā)熱元件的壽命,測溫元件采用K型熱偶。采用單回路溫控儀能夠自整定PID 參數(shù),無須操作人員的干預,可自行根據(jù)不同溫度曲線的升、降溫要求調(diào)整輸出信號,同時系統(tǒng)設置了超溫、欠溫、斷偶報警保護功能,大大降低了對操作人員經(jīng)驗的要求,關鍵電氣元件采用優(yōu)質(zhì)的進口產(chǎn)品,做到高性能、免維護,提高了設備質(zhì)量的可靠性。              

            1、加熱系統(tǒng)

            最高溫度

            1200℃

            使用溫度

            ≤1100℃

            爐膛有效尺寸

            Φ100mm(適用于2-3英寸樣品,爐管直徑可根據(jù)實際需要定制。)

            爐膛材料

            氧化鋁、高溫纖維制品

            熱電偶類型

            K型熱電偶

            控溫精度

            ±1℃

            控溫方式

            30段可編程控溫,PID參數(shù)自整定,操作界面為7"工控電腦,內(nèi)置PLC控制序。

            加熱長度

            200+200+200mm

            恒溫長度

            400mm

            加熱原件

            電阻絲

            供電電源

            單相,220V,50Hz

            2、PE射頻電源

            功率輸出范圍

            0W~500W

            最大反射功率

            100W

            射頻輸出接口

            50 Ω, N-type, female

            功率穩(wěn)定度

            ≤5W

            諧波分量

            ≤-50dbc

            供電電壓

            單相交流(187V-253V) 頻率50/60HZ

            整機效率

            >=70%

            功率因素

            >=90%

            冷卻方式

            強制風冷

            3、三路質(zhì)子流量控制系統(tǒng)

            連接頭類型

            雙卡套不銹鋼接頭

            標準量程(N2)

            50sccm,100sccm、500sccm(可根據(jù)用戶要求定制)

            準確度

            ±1.5%F.S

            線性

            ±1%F.S

            重復精度

            ±0.2%F.S

            響應時間

            氣特性:1~4 Sec,電特性:10 Sec

            工作壓差范圍

            0.1~0.5 MPa

            最大壓力

            3MPa

            接口

            Φ6,1/4''

            顯示

            4位數(shù)字顯示

            工作環(huán)境溫度

            5~45高純氣體

            壓力真空表

            -0.1~0.15 MPa, 0.01 MPa/格

            截止閥

            Φ6

            內(nèi)外雙拋不銹鋼管

            Φ6

            4、低真空機組

            空氣相對濕度

            ≤85%

            工作環(huán)境

            5℃~40℃

            工作電電壓

            220V±10%  50~60HZ

            功率

            1KW

            抽氣速率

            10m3/h

            極限真空

            5X10-1Pa

            工作壓力范圍

            1.01325X105~1.33X10-2Pa

            耐壓值

            0.03MPa

            容油量

            1.1L

            進氣口口徑

            KF25

            排氣口口徑

            KF25

            噪音

            50dB

            連接方式

            采用波紋管,手動擋板閥與波紋管相連




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