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詳細(xì)介紹
我公司研制的滑軌式PECVD系統(tǒng)能使整個(gè)實(shí)驗(yàn)腔體都處于輝光產(chǎn)生區(qū)，輝光均勻等效，這種技術(shù)很好的解決了傳統(tǒng)等離子工作不穩(wěn)定狀態(tài)，這樣離子化的范圍和強(qiáng)度是傳統(tǒng)PECVD的百倍，并解決了物料不均勻堆積現(xiàn)象。
與傳統(tǒng)CVD系統(tǒng)比較，生長(zhǎng)溫度更低。
使用滑軌爐實(shí)現(xiàn)快速升溫和降溫。
設(shè)備*的技術(shù)使得整管輝光均勻等效，均勻生長(zhǎng)。
主要特點(diǎn)：
1.薄膜沉積速率高：射頻輝光技術(shù)，大大的提高了薄膜的沉積速率，沉積速率可達(dá)10?/S；
2. 大面積均勻性高：采用了*的多點(diǎn)射頻饋入技術(shù)，特殊氣路分布和加熱技術(shù)等，使得薄膜均勻性指標(biāo)達(dá)到8%；
3. 一致性高：用半導(dǎo)體行業(yè)的*設(shè)計(jì)理念，使得一次沉積的各基片之間偏差低于2%；
4. 工藝穩(wěn)定性高：高度穩(wěn)定的設(shè)備保證了工藝的連續(xù)和穩(wěn)定；
技術(shù)參數(shù)：
1、單溫區(qū)加熱系統(tǒng)：
最高溫度 | 1200 |
使用溫度 | 1100 |
爐膛有效尺寸 | Φ60*1650mm |
爐膛材料 | 氧化鋁、高溫纖維制品 |
熱電偶類型 | K |
控溫精度 | 1 |
控溫方式 | 30段可編程控溫，PID參數(shù)自整定， ?操作界面為10"工控電腦，內(nèi)置PLC控制程序， ?可將溫控系統(tǒng)、滑軌爐滑動(dòng)（時(shí)間和距離）設(shè)定為程序控制。 |
加熱長(zhǎng)度 | 440mm |
恒溫長(zhǎng)度 | 200mm |
加熱原件 | 電阻絲 |
供電電源 | 220V |
額定功率 | 3KW |
2、PE射頻電源：
該CVD系統(tǒng)可配備PE射頻電源，將CVD系統(tǒng)升級(jí)為PECVD。當(dāng)參與反應(yīng)的氣氛進(jìn)入爐管在射頻電源的作用下產(chǎn)生離子體，可使反應(yīng)更加充分。同時(shí)等離子體起增強(qiáng)的作用，從而很大程度上優(yōu)化實(shí)驗(yàn)的工藝條件。
信號(hào)頻率 | 13.56 MHz±0.005% |
功率輸出范圍 | 500W |
射頻輸出接口 | 50 Ω, N-type, female |
功率穩(wěn)定度 | ±0.1% |
諧波分量 | ≤-50dbc |
供電電壓 | 單相交流（187V-253V） 頻率50/60HZ |
整機(jī)效率 | >=70% |
功率因素 | >=90% |
冷卻方式 | 強(qiáng)制風(fēng)冷 |
3、五路質(zhì)子流量控制系統(tǒng)：
供氣系統(tǒng)是一種可控制4種氣體按不同流量進(jìn)行混合配比，也可根據(jù)實(shí)驗(yàn)需求加裝洗氣裝置，質(zhì)量流量計(jì)安裝于密封的可移動(dòng)機(jī)柜內(nèi)，由超潔雙拋不銹鋼管與精密雙卡套接頭連接組成，觸摸屏控制。
連接頭類型 | 雙卡套不銹鋼接頭 |
標(biāo)準(zhǔn)量程 | 氬氣：1000sccm 氫氣：300sccm 甲烷：100sccm 氮?dú)猓?00sccm 氧氣：100sccm |
準(zhǔn)確度 | ±1.5% |
線性 | ±0.5～1.5% |
重復(fù)精度 | ±0.2% |
響應(yīng)時(shí)間 | 氣特性：1～4 Sec，電特性：10 Sec |
工作壓差范圍 | 0.1～0.5 MPa |
最大壓力 | 3MPa |
接口 | Φ6或者1/4''可選 |
顯示 | 4位數(shù)字顯示 |
工作環(huán)境溫度 | 5~45高純氣體 |
壓力真空表 | －0.1～0.15 MPa, 0.01 MPa/格 |
4、真空機(jī)組：
真空機(jī)組，內(nèi)部安裝雙極旋片機(jī)械泵1臺(tái)，電容真空計(jì)1套，并含有配套使用的波紋管，手動(dòng)擋板閥，卡箍等連接部件。設(shè)備冷態(tài)極限真空可達(dá)0.5Pa。
工作電電壓 | 220V |
功率 | 1 |
抽氣速率 | 16m3/h |
極限真空 | 0.5Pa |
進(jìn)氣口口徑 | KF25 |
排氣口口徑 | KF25 |
連接方式 | 采用波紋管，手動(dòng)擋板閥與波紋管相連 |
電容真空計(jì) | ZDM-I( 5-5000pa 不需因測(cè)量氣體種類不同而需要系數(shù)轉(zhuǎn)換。具有較高的精確度和重復(fù)性，響應(yīng)時(shí)間較短。 |
5、壓力控制系統(tǒng)：
壓力控制系統(tǒng)主要部件蝶閥、壓力控制器、電容真空計(jì)組成。
壓力控制系統(tǒng)的作用：根據(jù)實(shí)驗(yàn)要求，在出氣端和泵之間增加蝶閥（調(diào)節(jié)閥）和真空計(jì)，真空計(jì)可檢測(cè)管內(nèi)壓力，通過 PLC 調(diào)節(jié)蝶閥（調(diào)節(jié)閥）開啟的大小，以達(dá)到控制管內(nèi)壓力不變。
壓力可范圍：100~100000Pa
控制精度：測(cè)量值±5%