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            前端預熱滑軌式簡易版PECVD

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            參考價 面議
            具體成交價以合同協(xié)議為準
            • 型號
            • 品牌 貝意克
            • 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)商
            • 所在地 合肥市
            在線詢價 收藏產(chǎn)品

            更新時間:2024-08-01 14:05:37瀏覽次數(shù):2103

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            產(chǎn)品簡介

            產(chǎn)地類別 國產(chǎn) 價格區(qū)間 面議
            儀器種類 管式爐 應用領域 環(huán)保,化工,能源,電子/電池
            前端預熱滑軌式簡易版PECVD
            安徽貝意克設備技術(shù)有限公司成立于2012年,隸屬百思集團,其平行公司有百思新材料研究院有限公司、合肥萊德裝備技術(shù)有限公司、天津百諾金科技有限公司、合肥歐萊迪光電技術(shù)有限公司、安徽貝意克智能科技有限公司。貝意克公司于2020年在合肥投資5億元新建5萬平米貝意克智能裝備產(chǎn)業(yè)園。設有貝意克工程設計中心,貝意克工程技術(shù)中心,貝意克聯(lián)合實驗室等研發(fā)公共服務平臺。

            詳細介紹

            前端預熱滑軌PECVD前端預熱滑軌PECVD

            管式爐

            爐管尺寸:外徑φ50

            加熱元件:電阻絲(Fe-Cr-Alloy doped by Mo)

            加熱區(qū)長度:440mm

            恒溫區(qū)長度:200mm(±1℃)

            工作溫度:1100℃

            最高溫度:1200℃

            控溫方式:模糊PID控制和自整定調(diào)節(jié),智能化30段可編程控制,具有超溫和斷偶報警功能

            控溫精度:±1℃

            升溫速度:20℃/min

            爐門結(jié)構(gòu):開啟式

            工作電源:AC220V/50Hz

            額定功率:3KW

            射頻電源

            信號頻率:13.56MHz±0.005%

            功率輸出范圍:5W-500W

            最大反射功率:200W

            射頻輸出接口:5Ω,N-type,female

            功率穩(wěn)定度:±0.1%

            諧波分量:-50dbc

            供電電壓:單相交流(187V-253V),頻率50/60Hz

            整機效率:≥70%

            功率因素:≥90%

            冷卻方式:強制風冷

            供氣系統(tǒng)

            外形尺寸:600*600*650mm

            連接頭類型:雙卡套不銹鋼接頭

            標準量程(N2):100sccm、200sccm、500sccm

            準確度:±1.5%

            線性:±0.5%~1.5%

            重復精度:±0.2%

            響應時間:氣特性:1~4Sec,電特性:10Sec

            工作壓差范圍:0.1~0.5MPa

            最大壓力:3MPa

            接口:φ6,1/4"

            顯示:4位數(shù)字顯示

            工作環(huán)境溫度:5~45高純氣體

            內(nèi)外雙拋不銹鋼管:φ6

            壓力真空表:-0.1~0.15MPa,0.01MPa/格

            截止閥:φ6

            低真空機組

            技術(shù)參數(shù):

            功率:0.4KW(4級)

            極限壓力:5*10-1(Pa)

            外型尺寸:600*600*650mm

            電阻真空計參數(shù):

            1.配用規(guī)管:電阻規(guī)

            2.測量范圍:1055*10-1Pa

            3.測量路數(shù):1路

            4.控制范圍:5*1035*10-1Pa

            5.控制方式:繼電器觸點輸出,負載能力AC220V/3A(或DC28V/3A)無感負載

            6.電源:90-260V/50Hz或220V±10%  50Hz

            7.功耗:20W

            預熱爐

            工作溫度:350℃

            最高溫度:400℃

            最快升溫速率:30℃/min

            推薦升溫速率:10℃/min

            控溫方式:智能化30段可編程控制



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