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| 產(chǎn)地類(lèi)別 | 國(guó)產(chǎn) | 價(jià)格區(qū)間 | 面議 |
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| 儀器種類(lèi) | 管式爐 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 環(huán)保,化工,能源,電子/電池 |
產(chǎn)品簡(jiǎn)介
詳細(xì)介紹
單溫區(qū)滑軌式PECVD系統(tǒng)
高溫真空爐加熱腔體采用氧化鋁纖維制品，其極低的熱導(dǎo)率和比熱容，保證了爐膛的快速升溫和低蓄熱，特別適合于科研單位的材料工藝研究。加熱元件選用電阻絲加熱，有利于爐內(nèi)溫度場(chǎng)的均勻分布。高溫真空電阻爐溫度控制系統(tǒng)采用經(jīng)典的閉環(huán)負(fù)反饋控制系統(tǒng)，控溫儀表選用智能型程序溫度調(diào)節(jié)儀表控溫，電力調(diào)制器控制；負(fù)載采用小電壓大電流控制，從而大大提高了發(fā)熱元件的壽命，測(cè)溫元件采用K型熱偶。采用單回路溫控儀能夠自整定PID 參數(shù)，無(wú)須操作人員的干預(yù)，可自行根據(jù)不同溫度曲線的升、降溫要求調(diào)整輸出信號(hào)，同時(shí)系統(tǒng)設(shè)置了超溫、欠溫、斷偶報(bào)警保護(hù)功能，大大降低了對(duì)操作人員經(jīng)驗(yàn)的要求，關(guān)鍵電氣元件采用優(yōu)質(zhì)的進(jìn)口產(chǎn)品，做到高性能、免維護(hù)，提高了設(shè)備質(zhì)量的可靠性。 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
1、加熱系統(tǒng)
2、PE射頻電源
3、三路質(zhì)子流量控制系統(tǒng)
4、低真空機(jī)組
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