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            目錄:上海明策電子科技有限公司>>測溫儀>>半導(dǎo)體&薄膜測溫>> Sekidenko OR4000E半導(dǎo)體薄膜高溫計

            Sekidenko OR4000E半導(dǎo)體薄膜高溫計
            • Sekidenko OR4000E半導(dǎo)體薄膜高溫計
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            參考價 面議
            具體成交價以合同協(xié)議為準
            參考價 面議
            具體成交價以合同協(xié)議為準
            • 品牌 Advanced Energy/優(yōu)儀
            • 型號
            • 廠商性質(zhì) 代理商
            • 所在地 上海市
            屬性

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            >

            更新時間:2025-01-14 10:40:33瀏覽次數(shù):896評價

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            Sekidenko OR4000E半導(dǎo)體薄膜高溫計能夠自動探測測量材料發(fā)射率,可用于RTP、HDP-CVD、MOCVDUV固化和其它各種半導(dǎo)體工藝過程。OR4000E型具有類似OR4000T的高速性能,并且兼具實時輻射率補償?shù)膬?yōu)點。其采用塊化設(shè)計,可快速量身定制,滿足不同的的工藝應(yīng)用要求。

            主要特性

            優(yōu)點:


            • 提高可重復(fù)性并顯著減小誤差

            • 提高生產(chǎn)率、產(chǎn)量和生產(chǎn)能力

            • 提高多個腔室和基材的穩(wěn)定性和可靠性


            特點:

            • ·主動輻射率檢測和補償

            • 溫度和輻射率讀取速率快

            • ·模塊化的結(jié)構(gòu)具有高靈活性

            • ·全套I/O和外部觸發(fā)器/同步組件


            技術(shù)參數(shù):

            概述:實時,雙通道,在測量過程中能實時測量材料發(fā)射系數(shù)并糾正,補償測量溫度,測量速度高達2kHz
            通道配置:1-2通道,透過脈沖發(fā)射器實時糾正發(fā)射系數(shù),每個通道可單獨配置
            測溫范圍:50-3500°C
            實時發(fā)射系數(shù)范圍:0.03 至 1.0
            測量波長:UV to 2300 nm
            讀取速率:高達2kHz,在實時發(fā)射系數(shù)自糾正溫度測量模式下可達500Hz
            測量精度:±1.5℃
            重復(fù)精度:±0.1℃℃,正常情況下
            分辨率:0.001°C
            顯示:內(nèi)置,4x20LCD屏,帶鍵盤輸入
            數(shù)據(jù)I/O:RS-232,RS-422/485,and Etherne
            模擬輸出:t0-10V或4-20mA
            控制接口:外部觸發(fā)輸入,同步輸出,高低報警
            電源:交流:90 to 263 VAC, 47 to 63 Hz直流:24V DC
            環(huán)境參數(shù):5-40℃,非冷凝
            物理尺寸:8.6 cm (H)x15.2 cm ()x 21.8 cm(D)
            重量:2.0kg
            安裝:底部M3 X0.75螺孔
            采樣響應(yīng)時間:2kHz采樣速率時<2ms




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