日本yamamoto-ms電鍍?nèi)芤簯?yīng)變片式精密應(yīng)力儀B-72WJ-SG
通過使用傳感器測量基板的應(yīng)變，可以實時測量鍍層的內(nèi)部應(yīng)力。
一次測量可以測量每個電鍍時間（膜厚）的應(yīng)力。您也可以在重新鍍膜一次后的膜上測量應(yīng)力?？梢詼y量微小的應(yīng)力，這是常規(guī)應(yīng)力計無法實現(xiàn)的。將專用的壓力計板插入精密電鍍電源YPP系列的插槽中以供使用。

日本yamamoto-ms電鍍?nèi)芤簯?yīng)變片式精密應(yīng)力儀B-72WJ-SG

通過使用傳感器測量基板的應(yīng)變，可以實時測量鍍層的內(nèi)部應(yīng)力。

 

一次測量可以測量每個電鍍時間（膜厚）的應(yīng)力。您也可以在重新鍍膜一次后的膜上測量應(yīng)力。可以測量微小的應(yīng)力，這是常規(guī)應(yīng)力計無法實現(xiàn)的。將專用的壓力計板插入精密電鍍電源YPP系列的插槽中以供使用。

特征

●符合JIS H8626標準。
●即使在弱壓力下也可以進行測量。適用于測量薄弱的產(chǎn)品，例如薄膜和晶圓。（從0.5μm或更大的膜厚可以進行精確測量）
●也可以測量其他方法無法測量的初始應(yīng)力。
●適用于精細零件。
●傳感器獲取的數(shù)據(jù)會立即輸入到連接電源的PC上，并且PC會自動計算應(yīng)力值，而無需進行任何計算。另外，使用個人計算機實時顯示和累積被測數(shù)據(jù)。

日本yamamoto-ms電鍍?nèi)芤簯?yīng)變片式精密應(yīng)力儀B-72WJ-SG

電源和應(yīng)力測量板的規(guī)格

輸入電壓	AC100-200V±10％（50 / 60Hz±5％）
輸出電壓/輸出電流	DC0?15V / 0?10A
z低分辨率	1mA / 10mV / 0.1mC的
溫度控制功能	1KW（開/關(guān)控制/ PID控制）
體重	8.8公斤
支持的操作系統(tǒng)	與Windows 8和10兼容

設(shè)定細目

產(chǎn)品編號	產(chǎn)品名稱	數(shù)量
B-72-SG-P01W	應(yīng)變片式精密應(yīng)力計水箱（MODEL-w）	1片
B-72-SG-P02	應(yīng)變片式精密應(yīng)力計的夾具（陽極背面）	1套
B-72-SG-P03-1	5個試片（銅），用于應(yīng)變片式精密應(yīng)力計	1套
B-72-SG-P04	應(yīng)變片式精密應(yīng)力計試件用絕緣管	1個
B-50-KTSG121513	不銹鋼G型塞（寬度12毫米x 15φ13）	1片
B-72-SG-P06	用于應(yīng)變儀式精密應(yīng)力計的陽極板組 （含磷銅，鎳，SK鎳，高純錫（三菱電解錫）中的一種）	1套
B-58WJA	WJA型，帶加熱器溫度保險絲，用于Halcel（AC100V，100W）	1
B-72-SG-P07	應(yīng)變片式精密應(yīng)力計用空氣管	1個
B-57A	Halcel的氣泵A（AC100V）	1片
B-62A	攪拌器（帶固定底座）（與微桶，智能船體艙，智能艙兼容）	1套
B-93-YTC-P04	YTC，YPP溫度傳感器（短型）總長190mm	1個
B-93-YTC-P02	溫度控制器YTC塞子的溫度傳感器（L型）	1片
A-52-P18	空氣過濾器	1片
A-57-15100-1B	應(yīng)變片式精密應(yīng)力計板	1個
A-57-15100WA-J	晶圓YPP15100WA-J的精密電鍍電源（1mA-10A）	1
A-57-15031WA-J	超精密電鍍電源YPP15031WA-J（10μA-3A）