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產(chǎn)品分類品牌分類
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AAA+級(jí)雙光太陽光模擬器 AAA太陽光模擬器 150W 太陽光模擬器 聚光太陽光模擬器 太陽能電池IV性能測(cè)試儀 太陽能電池組件測(cè)試儀 太陽能電池測(cè)試 多通道太陽能電池穩(wěn)定性測(cè)試 OLED模擬軟件 太陽能電池穩(wěn)定性測(cè)試 太陽能電池載流子測(cè)試 光纖太陽光模擬器 光譜響應(yīng)/量子效率量測(cè)儀 全光譜太陽光模擬器 太陽能電池量子效率測(cè)試系統(tǒng) AAA級(jí)太陽光模擬器 雙燈太陽光模擬器 穩(wěn)態(tài)太陽光模擬器 瞬態(tài)光電流/光電壓測(cè)試系統(tǒng) 太陽能電池載流子測(cè)試設(shè)備 載流子擴(kuò)散長度測(cè)試系統(tǒng)
產(chǎn)品簡介
詳細(xì)介紹
薄膜/涂層殘余應(yīng)力儀：同樣采用多光束MOS技術(shù)，可裝在各種真空沉積設(shè)備上（如：MBE, MOCVD, sputtering, PLD, PECVD, and annealing chambers ects），對(duì)于薄膜生長過程中的應(yīng)力變化進(jìn)行實(shí)時(shí)原位測(cè)量和二維成像分析；
*薄膜熱應(yīng)力測(cè)量系統(tǒng)（kSA MOS Thermal-Scan Film Stress Tester）
薄膜/涂層殘余應(yīng)力儀
技術(shù)參數(shù)：
kSA MOS Film Stress Tester, kSA MOS Film Stress Measurement System，kSA MOS Film Stress Mapping System;
1.XY雙向程序控制掃描平臺(tái)掃描范圍：300mm (XY)（可選）；
2.XY雙向掃描速度：up to 20mm/s；
3.XY雙向掃描平臺(tái)掃描小步進(jìn)/分辨率：2 μm ；
4.樣品holder兼容：50mm, 75mm, 100mm, 150mm, 200mm, and 300mm直徑樣品；
5.程序化控制掃描模式：選定區(qū)域、多點(diǎn)線性掃描、全樣品掃描；
6.成像功能：樣品表面2D曲率、應(yīng)力成像，及3D成像分析；
7.測(cè)量功能：曲率、曲率半徑、應(yīng)力強(qiáng)度、應(yīng)力、Bow和翹曲等；
主要特點(diǎn)：
1.程序化控制掃描模式：單點(diǎn)掃描、選定區(qū)域、多點(diǎn)線性掃描、全樣品掃描；
2.成像功能：樣品表面2D曲率成像，定量薄膜應(yīng)力2D成像分析；
3.測(cè)量功能：薄膜應(yīng)力、翹曲、曲率半徑等；
4.支持變溫?zé)釕?yīng)力測(cè)量功能，溫度范圍-65C to 1000C；
5.薄膜殘余應(yīng)力測(cè)量；
涂層應(yīng)力測(cè)量系統(tǒng)（kSA MOS Coating Stress tester）采用非接觸MOS激光技術(shù)；不但可以對(duì)樣品表面應(yīng)力分布進(jìn)行統(tǒng)計(jì)分析，而且還可以進(jìn)行樣品表面二維應(yīng)力、曲率成像分析；并且這種設(shè)計(jì)始終保證所有陣列的激光光點(diǎn)始終在同一頻率運(yùn)動(dòng)或掃描，從而有效的避免了外界振動(dòng)對(duì)測(cè)試結(jié)果的影響；同時(shí)提高了測(cè)試的分辨率；適合各種材質(zhì)和厚度薄膜應(yīng)力分析；
典型用戶：Harvard University 2套，Stanford University，Johns Hopkins University，Brown University 2套，Karlsruhe Research Center,Max Planck Institute，西安交通大學(xué)，中國計(jì)量科學(xué)研究院等、半導(dǎo)體和微電子制造商（如IBM.，Seagate Research Center,Phillips Semiconductor,NEC，Nissan ARC,Nichia Glass Corporation）等；
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