SHINDENGEN 高頻射頻電源 XR-PH1310L-C1 RF Generator是一款優(yōu)秀的經(jīng)過長期測驗(yàn)的射頻發(fā)生器，性能穩(wěn)定可靠，廣泛的應(yīng)用在CVD、PECVD等半導(dǎo)體制程中。設(shè)備整體設(shè)計(jì)緊湊，有效的降低客戶的使用成本。

SHINDENGEN 高頻射頻電源 XR-PH1310L-C1 參數(shù)規(guī)格

設(shè)備品牌：SHINDENGEN

設(shè)備型號(hào)：XR-PH1310L-C1

AC Input：200~220V ±10%，1 phase~，2.0kVA~，50/60Hz

RF Output：1000W，50Ω，13.56MHz

通信接口：EXT. CONT，RS-232C，Pr moni，VPP IN

散熱：風(fēng)冷散熱

設(shè)備重量：23kg

售后服務(wù)：本公司有完善的售后服務(wù)保障體系，產(chǎn)品一律由本公司特制的防爆箱裝箱承運(yùn)，方便快捷，減小客戶因停機(jī)更換電源所帶來的損失。若電源設(shè)備在保修期內(nèi)因質(zhì)量問題發(fā)生損壞下機(jī)，可免費(fèi)返修。此外本公司擁有備機(jī)數(shù)量龐大的備機(jī)庫，設(shè)備型號(hào)齊全，客戶機(jī)器送修期間，可以通過設(shè)備租賃保證產(chǎn)線的正常工作。