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            江蘇神州半導(dǎo)體科技有限公司
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            19975057911

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            MKS 射頻電源 RD5060Z 60MHz 2000W

            參  考  價面議
            具體成交價以合同協(xié)議為準

            產(chǎn)品型號MKS RD5060Z

            品       牌

            廠商性質(zhì)經(jīng)銷商

            所  在  地揚州市

            更新時間:2024-06-03 12:00:12瀏覽次數(shù):670次

            聯(lián)系我時,請告知來自 化工儀器網(wǎng)
            供貨周期 現(xiàn)貨 貨號 RD5060Z-01
            應(yīng)用領(lǐng)域 電子/電池,電氣,綜合 主要用途 RF GENERATOR
            品牌 MKS 型號 RD5060Z
            P/N RD5060Z-01 射頻 60MHz
            輸出功率 2000W 設(shè)備狀態(tài) Refurbished
            MKS 射頻電源 RD5060Z 60MHz 2000W RF Generator 是經(jīng)過現(xiàn)場驗證的具有優(yōu)良工藝穩(wěn)定性和控制能力的高性能射頻電源。

            MKS 射頻電源 RD5060Z 60MHz 2000W RF Generator 是經(jīng)過現(xiàn)場驗證的具有可靠性能和穩(wěn)定輸出能力的優(yōu)秀射頻發(fā)生器,在實機驗證中體現(xiàn)出了優(yōu)秀的工藝穩(wěn)定性和輸出控制能力。該型射頻電源能夠?qū)崿F(xiàn)對射頻輸出的精準控制,廣泛應(yīng)用在半導(dǎo)體制程濺射、CVD、PECVD、蝕刻等工藝中,且具有優(yōu)秀表現(xiàn)。RD5060Z射頻電源具有優(yōu)秀的成膜能力,在半導(dǎo)體薄膜工藝中,具有成膜速度快,效率高,質(zhì)量好的優(yōu)點,在一定程度上能夠提升產(chǎn)線效率和成品良率,具有十分廣泛的應(yīng)用。

            MKS 射頻電源 RD5060Z 60MHz 2000W RF Generator 參數(shù)規(guī)格

            設(shè)備品牌:MKS

            設(shè)備型號:RD5060Z

            AC 電源輸入:3 phase~ ,480V,15A

            RF 射頻輸出:DUAL 2.0KW,60MHz

            通訊接口:CEX In/Out,Profibus,EtherNet,Sync In/Out,Reserved,RS-232C

            設(shè)備散熱:水冷散熱

            設(shè)備重量:445kg,98lbs

             

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