DAIHEN 射頻電源 NX-HGA-30B1 100MHz 3000W RF Generator 是經(jīng)過現(xiàn)場長期驗證的具有優(yōu)良工藝穩(wěn)定性和控制能力的高性能射頻電源，能夠?qū)崿F(xiàn)對射頻輸出的精準(zhǔn)控制，被廣泛應(yīng)用于濺射、CVD、PECVD等半導(dǎo)體制程工藝中。DAIHEN NX-HGA系列射頻電源具有優(yōu)秀的成膜能力，成膜效果好、速度快，運用于半導(dǎo)體制程薄膜工藝中能夠提高成膜效率，一定程度上可以提高產(chǎn)線效率和產(chǎn)品良率。該型高頻射頻電源堅實耐用，為等離子工藝提供了優(yōu)秀的可靠性。

DAIHEN 射頻電源 NX-HGA-30B1 100MHz 3000W參數(shù)規(guī)格

設(shè)備品牌：DAIHEN

設(shè)備型號：NX-HGA-30B1

AC 電源輸入：3 phase~ ，AC 180~242V，50/60Hz，24A

RF 射頻輸出：100MHz，3000W

通訊接口：Maintenance，Display，DeviceNet，DI/O I/F，Pulse Out

設(shè)備散熱：風(fēng)冷+水冷散熱

水冷進(jìn)水需求：MAX Torque 30N·m

設(shè)備重量：65kg