MKS 射頻電源 LVF3527A 27MHz 3500W RF Generator 是經(jīng)過(guò)長(zhǎng)期驗(yàn)證的具有高可靠性的射頻發(fā)生器，是面向核心等離子體應(yīng)用的業(yè)界前沿的可重復(fù)電源。MKS 射頻電源整體采用緊湊型的外觀設(shè)計(jì)，能夠有效的降低客戶的使用成本。設(shè)備主要運(yùn)用于等離子蝕刻，CVD和濺射等應(yīng)用，堅(jiān)固耐用，為等離子工藝提供了優(yōu)秀的可靠性。MKS LVF系列射頻電源能夠?qū)崿F(xiàn)對(duì)射頻輸出的精準(zhǔn)控制，具有優(yōu)良的成膜能力，在半導(dǎo)體薄膜工藝中有廣泛應(yīng)用。

MKS 射頻電源 LVF3527A 27MHz 3500W 參數(shù)規(guī)格

設(shè)備品牌：MKS                                                                              

設(shè)備型號(hào)：LVF3527A

AC Input：3 phase~ PE，208V，30A，50/60Hz

RF Output：27MHz，3500W

通信接口：RS-232C，Remote Panel，Analog I/O

設(shè)備散熱：風(fēng)冷+水冷散熱

水冷進(jìn)水需求：水冷流速2Gal/min（7.5L/min），水溫 5℃~35℃，Max 水壓60PSI（414kPa）

設(shè)備重量：32kg（70lbs）