MKS 射頻電源 LVG3527A 27MHz 3500W RF Generator 是經(jīng)過(guò)長(zhǎng)期驗(yàn)證的具有高可靠性的射頻發(fā)生器，是面向核心等離子體應(yīng)用的業(yè)界前沿的可重復(fù)電源。MKS 射頻電源整體采用緊湊型的外觀設(shè)計(jì)，能夠有效的降低客戶的使用成本。設(shè)備主要運(yùn)用于等離子蝕刻，CVD和濺射等應(yīng)用，堅(jiān)固耐用，為等離子工藝提供了優(yōu)秀的可靠性。MKS LVG系列射頻電源能夠能實(shí)現(xiàn)對(duì)射頻的精準(zhǔn)控制，具有優(yōu)秀的成膜能力，在半導(dǎo)體薄膜工藝中具有廣泛應(yīng)用。

MKS 射頻電源 LVG3527A 27MHz 3500W 參數(shù)規(guī)格

設(shè)備品牌：MKS

設(shè)備型號(hào)：LVG3527A

AC 電源輸入：200~208V，3 phase~ /PE，50/60Hz，30AMP

RF 射頻輸出：27.12MHz，3500W

通信接口：Analog I/O，RS-232C，EtherNet，Reserved

設(shè)備散熱：水冷散熱

水冷進(jìn)水需求：2gal/min（7.5L/min），水溫5℃~35℃，MAX水壓 60PSI/414kPa

設(shè)備重量：32kg（70lbs）