DAIHEN 高頻射頻電源 FGA-65A 40.68MHz 6500W RF Generator 是經(jīng)過長期驗證的高性能射頻發(fā)生器，是面向核心等離子體應用的業(yè)界前沿的可重復電源。該系列射頻電源具有優(yōu)秀的成膜能力，廣泛應用在半導體制程的薄膜工藝中，堅固耐用，為等離子工藝提供了優(yōu)秀的可靠性。設備整體采用了緊湊設計，降低了客戶的使用成本。該系列電源設備經(jīng)過了嚴格的設計和可靠性測試，實現(xiàn)了高可靠性和耐久性，射頻輸出控制的精度高，整個輸出范圍內輸出功率穩(wěn)定。

DAIHEN 高頻射頻電源 FGA-65A 40.68MHz 參數(shù)規(guī)格

設備品牌：DAIHEN                                                                                                              

設備型號：FGA-65A

AC電源輸入：3 phase~ ，180~242V，40A，50/60Hz

RF射頻輸出：40.68MHz，6500W

通訊接口：RS-232C，Analog I/F，Pulse，DeviceNet

設備散熱：水冷散熱

水冷進水Torque：30N·m（Max）

設備重量：93kg