AE 射頻電源 RFG 2000-2V 13.56MHz 3KW RF Generator 是經(jīng)過(guò)長(zhǎng)期驗(yàn)證的具有高可靠性和優(yōu)良性能的射頻電源，在實(shí)際運(yùn)行中展現(xiàn)出了優(yōu)秀的工藝穩(wěn)定性和控制能力。該款射頻電源主要采用了緊湊的外觀設(shè)計(jì)，整體小巧便捷，占用空間小，能夠降低客戶的使用成本。AE RFG系列射頻電源具有良好的成膜能力，能夠快速成膜，被廣泛的應(yīng)用在半導(dǎo)體制程的薄膜工藝中，CVD、PVD、PECVD、濺射、蝕刻均有應(yīng)用。RFG 2000-2V，加上它相關(guān)的固定匹配網(wǎng)絡(luò)(MFA)，是一種傳統(tǒng)的AE 13.56 MHz射頻發(fā)生器，具有定制的腔室安裝和緊密的機(jī)械包絡(luò)。

AE 射頻電源 RFG 2000-2V 13.56MHz 3KW參數(shù)規(guī)格

設(shè)備品牌：AE（Advanced Energy）

設(shè)備型號(hào)：RFG 2000-2V                                                                                                    

AC 電源輸入：3 phase~ ，208V~，50/60Hz，20A

RF 射頻輸出：3000W，13.56MHz

設(shè)備散熱：水冷散熱

水冷進(jìn)水需求：MAX進(jìn)水水壓6.9 Bars/69kPa