AE 射頻電源 RFG 1251 13.56MHz 1250W RF Generator是經(jīng)過(guò)現(xiàn)場(chǎng)長(zhǎng)期驗(yàn)證的具有優(yōu)良工藝穩(wěn)定性和控制能力的高性能射頻電源。AE RFG 系列射頻電源具有優(yōu)良的成膜能力，成膜速度快，被廣泛應(yīng)用在CVD、PVD、PECVD等半導(dǎo)體制程薄膜工藝中。該型號(hào)射頻電源能夠?qū)崿F(xiàn)對(duì)射頻輸出的精準(zhǔn)控制，能夠減少損耗提高能源效益，一定程度上可以提高產(chǎn)線效率和產(chǎn)品良率。設(shè)備整體采用緊湊型的設(shè)計(jì)風(fēng)格，小巧緊湊，占用空間小，能夠降低客戶的使用成本。

AE 射頻電源 RFG 1251 13.56MHz 1250W RF Generator 參數(shù)規(guī)格

設(shè)備品牌：AE（Advanced Energy）

設(shè)備型號(hào)：RFG 1251                                                                                                                                          

AC 電源輸入：3 phase~/PE，~208V，50/60Hz，2.4kW

RF 射頻輸出：13.56MHz，250V~，1250W

通信接口：Control，CEX In/Out

設(shè)備散熱：水冷散熱

水冷進(jìn)水要求：MAX進(jìn)水水壓 5.17Bar/517kPa