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當(dāng)前位置：江蘇神州半導(dǎo)體科技有限公司>>射頻電源（RF）>> DAIHEN RTGA-30ADAIHEN 射頻電源 RTGA-30A 12.88MHz 3500W
| 參 考 價 | 面議 |
產(chǎn)品型號DAIHEN RTGA-30A
品 牌其他品牌
廠商性質(zhì)經(jīng)銷商
所 在 地揚(yáng)州市
更新時間：2024-06-02 15:58:23瀏覽次數(shù)：637次
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MKS 射頻電源 53-S30-64 63.87MHz 18KW
ASE 射頻電源 APG-3000PRO RF Generator
DAIHEN 射頻電源 NX-HGA-30B1 100MHz 3000
| 供貨周期 | 現(xiàn)貨 | 貨號 | 2L39-000009-13 |
|---|---|---|---|
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 電子/電池,電氣,綜合 | 主要用途 | RF GENERATOR |
| 品牌 | DAIHEN | 型號 | RTGA-30A |
| P/N | 2L39-000009-13 | 頻率 | 12.88MHz |
| 輸出功率 | 3500W | 設(shè)備狀態(tài) | Refurbished |
DAIHEN 射頻電源 RTGA-30A 12.88MHz 3500W RF Generator是經(jīng)過現(xiàn)場長期驗證的具有優(yōu)良工藝穩(wěn)定性和控制能力的高性能射頻電源，該系列射頻電源能夠?qū)ι漕l輸出實施精準(zhǔn)控制，被廣泛的應(yīng)用在濺射、CVD、PECVD、蝕刻等半導(dǎo)體制程中。RTGA 系列射頻電源具有優(yōu)良可靠的成膜能力，成膜速度快，運用于半導(dǎo)體制程薄膜工藝中，可以一定程度上提升產(chǎn)線效率和產(chǎn)品良率。該型射頻電源整體采用了緊湊的外觀設(shè)計，能夠降低客戶的使用成本。
DAIHEN 射頻電源 RTGA-30A 12.88MHz 3500W參數(shù)規(guī)格
設(shè)備品牌：DAIHEN
設(shè)備型號：RTGA-30A
AC 電源輸入：3 phase~ ，200V，27A，50/60Hz
RF 射頻輸出：12.88MHz，3500W
通訊接口：DeviceNet，Debug，Analog I/F
設(shè)備散熱：風(fēng)冷+水冷散熱
水冷進(jìn)水需求：MAX Torque 30N·m
設(shè)備重量：48.5kg
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