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參考價(jià)	面議

FIB-SEM DualBeam

FEI/賽默飛

Scios 2 DualBeam聚焦離子束掃描電子顯微鏡用于超高分辨率、高質(zhì)量樣品制備和 3D 表征。

Scios 2 DualBeam聚焦離子束掃描電子顯微鏡，用于超高分辨率、高質(zhì)量樣品制備和 3D 表征

Thermo Scientific Scios 2 DualBeam 是一套超高分辨率的分析聚焦離子束掃描電子顯微鏡 (FIB-SEM) 系統(tǒng)，可為包括磁性和非導(dǎo)電材料在內(nèi)的各種樣品提供出色的樣品制備與 3D 表征性能。通過創(chuàng)新的功能設(shè)計(jì)提高了通量、精度以及易用性，是滿足科學(xué)家和工程師在學(xué)術(shù)、政府以及工業(yè)研究領(lǐng)域高級(jí)研究和分析需求的理想解決方案。

Scios 2 DualBeam聚焦離子束掃描電子顯微鏡主要特點(diǎn)：

快速、便捷的制備

使用 Sidewinder HT 離子柱獲得高質(zhì)量、現(xiàn)場特定的 TEM 和原子探針樣品。

完整的樣品信息

通過各種集成式色譜柱內(nèi)和透鏡下檢測器獲得清晰、精確和無電荷的對比度。

精確的樣品導(dǎo)航

高度靈活的 110 mm 載物臺(tái)和腔室內(nèi) Thermo Scientific Nav-Cam 攝像機(jī)允許根據(jù)具體應(yīng)用需求進(jìn)行定制。

優(yōu)化您的解決方案

靈活的 DualBeam 配置，包括可選配的最高 500 Pa 腔室壓力低真空模式，可滿足具體的應(yīng)用要求。

使用 Sidewinder HT 離子柱獲得高質(zhì)量、現(xiàn)場特定的 TEM 和原子探針樣品。

超高分辨率成像

使用在泛的樣品范圍（包括磁性和非導(dǎo)電材料）內(nèi)具有性能的 Thermo Scientific NICol 電子色譜柱。

高質(zhì)量、多模式亞表面和 3D 信息

使用可選配的 AS&V4 軟件，通過精確靶向感興趣區(qū)域來獲得高質(zhì)量、多模式亞表面和 3D 信息。

無偽影成像和構(gòu)成圖案

具有專用模式，如 DCFI、漂移抑制和 Thermo Scientific SmartScan 模式。

規(guī)格

電子束分辨率	最佳 WD 在 30 keV STEM 下為 0.7 nm 在 1 keV 下為 1.4 nm 在 1 keV（射束減速）下為 1.2 nm
電子束參數(shù)空間	電子束電流范圍：1 pA 至 400 nA 著陸能量范圍：20* eV – 30 keV 加速電壓范圍：200 V – 30 kV 最大水平射野寬度：7 mm WD 時(shí)為 3.0 mm，60 mm WD 時(shí)為 7.0 mm 可通過標(biāo)準(zhǔn)導(dǎo)航剪輯提供超寬視野 (1×)
離子光學(xué)系統(tǒng)	加速電壓：500 V – 30 kV 電子束電流范圍：1.5 pA – 65 nA 15 位置光闌條漂移抑制模式，為非導(dǎo)電樣品的標(biāo)準(zhǔn)模式最小離子源壽命：1,000 小時(shí) 離子束分辨率：選擇角方法下 30kV 時(shí)為 3.0 nm
檢測器	Trinity 檢測系統(tǒng)（鏡筒內(nèi)和色譜柱內(nèi)） T1 分段式下鏡筒內(nèi)檢測器 T2 上鏡筒內(nèi)檢測器 T3 可伸縮色譜柱內(nèi)檢測器（可選配）多達(dá) 4 個(gè)同時(shí)檢測的信號(hào) Everhart-Thornley SE 檢測器 (ETD) 用于二級(jí)離子 (SI) 和二級(jí)電子 (SE) 的高性能離子轉(zhuǎn)換和電子檢測器 (ICE)（可選配）可伸縮、低電壓、高對比度、分段式、固態(tài)反向散射電子檢測器 (DBS)（可選配）帶 BF/DF/HAADF 分段的可伸縮 STEM 3+ 檢測器（可選配）查看樣品和腔室的 IR 攝像機(jī) 腔室內(nèi) Nav-Cam 樣品導(dǎo)航攝像機(jī)（可選配）集成的光束電流測量
載物臺(tái)和樣品	靈活的 5 軸電動(dòng)平臺(tái)： XY 范圍：110 mm Z 范圍：65 mm 旋轉(zhuǎn)：360°（無限）傾斜范圍：-15° 至 +90° XY 重復(fù)性：3 μm 最大樣品高度：與共心點(diǎn)間距 85 mm 0° 傾斜時(shí)的最大樣品重量：5 kg （包括樣品架）最大樣品尺寸：旋轉(zhuǎn)時(shí) 110 mm（也可以是更大的樣品，但旋轉(zhuǎn)有限）計(jì)算中心旋轉(zhuǎn)和傾斜

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