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            目錄:杭州域勢科技有限公司>>PRECESS普瑞賽思>>普瑞賽思真空閥門>> V41系列PRECESS普瑞賽思遠(yuǎn)程等離子控制閥

            PRECESS普瑞賽思遠(yuǎn)程等離子控制閥
            • PRECESS普瑞賽思遠(yuǎn)程等離子控制閥
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            參考價(jià) 15000
            訂貨量 ≥1
            具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
            15000
            ≥1
            具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
            • 品牌 域勢科技
            • 型號(hào) V41系列
            • 廠商性質(zhì) 代理商
            • 所在地 杭州市
            屬性

            應(yīng)用領(lǐng)域:能源,電子/電池,電氣

            >

            更新時(shí)間:2025-05-10 10:42:03瀏覽次數(shù):91評(píng)價(jià)

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            PRECESS普瑞賽思遠(yuǎn)程等離子控制閥(V41系列)用于SEMI生產(chǎn)系統(tǒng)中的上游清潔進(jìn)氣室。適用于蝕刻、CVD工藝。

            PRECESS普瑞賽思遠(yuǎn)程等離子控制閥(V41系列)

            該產(chǎn)品采用集成式控制器設(shè)計(jì),它將控制器與閥門本體集成在一起,減少了外部布線和連接的復(fù)雜性,提高了系統(tǒng)的可靠性和穩(wěn)定性,同時(shí)也便于安裝、調(diào)試和維護(hù)。

             

            特點(diǎn)

            l半標(biāo)準(zhǔn)應(yīng)用(半E21-94、半E24-92、半E21.1-1296)

            l無顆粒,提供極其干凈的理想進(jìn)氣室

            l100萬個(gè)使用壽命周期

            l高真空角閥

            l氣動(dòng)執(zhí)行器,雙作用

            l智能模塊化設(shè)計(jì),易于維護(hù)

             

            項(xiàng)

            l白色硬質(zhì)陽極氧化表面處理

            l可定制開口尺寸

            l各種O型圈[Kalrez、Chemrazetc.]

             

            應(yīng)用

            l半導(dǎo)體加工

            l所有CVD工藝(包括MOPE、HDP、LPAP

            l太陽能工藝制造

            l所有其他集群和內(nèi)聯(lián)真空系統(tǒng)

             

            PRECESS普瑞賽思遠(yuǎn)程等離子控制閥(V41系列)

            技術(shù)參數(shù)

            執(zhí)行器


            氣動(dòng)

            閥體材質(zhì)


            不銹鋼

            饋通

            不銹鋼

            波紋管

            陽極氧化鋁

            O型圈軸

            標(biāo)準(zhǔn)法蘭


            ISO-F,CF-F,ASA-LP, JIS

            泄漏率

            不銹鋼

            < 1 × 10-9 mbar l/s

            陽極氧化鋁

            < 1 × 10-9 mbar l/s

            壓力范圍

            不銹鋼

            1 × 10-8 mbar to 2 bar

            陽極氧化鋁

            1 × 10-8 mbar to 1.2 bar

            閘門開啟方向的壓差


            ≤ 1.2bar

            閘門關(guān)閉方向的壓差


            ≤ 1.2bar

            開口處的壓差


            ≤ 1bar

            first使用前的生命周期

            不銹鋼

            300,000

            陽極氧化鋁

            100,000

            溫度

            不銹鋼

            閥體

            ≤ 150 °C

            閥門

            ≤ 150 °C

            執(zhí)行器

            ≤ 120 °C

            陽極氧化鋁

            閥體

            ≤ 150 °C

            閥門

            ≤ 150 °C

            執(zhí)行器

            ≤ 120 °C

            材質(zhì)

            不銹鋼

            閥體

            AlSI 304 (1.4301)

            閥門

            AlSI 304 (1.4301)

            閥帽

            AlSI 304 (1.4301)

            陽極氧化鋁

            閥體

            EN AW-6061(3.3211)

            閥門

            EN AW-6061(3.3211)

            閥帽

            EN AW-6061(3.3211)

            表面處理

            不銹鋼

            閥體

            電解拋光

            閥門

            Bare

            閥帽

            電解拋光

            陽極氧化鋁

            閥體

            白色硬質(zhì)陽極氧化

            閥門

            白色硬質(zhì)陽極氧化

            閥帽

            白色硬質(zhì)陽極氧化

            密封

            不銹鋼

            FKM(Viton®)或根據(jù)要求

            陽極氧化鋁

            FFKM(Kalrez®9500

            安裝位置


            任意

            電磁閥


            24 VDC應(yīng)要求

            位置指示器

            類型

            簧片開關(guān)

            電壓

            12V/24VDC或應(yīng)要求

            電流

            5-50 mA

            連接器

            AMP 4P mate/D-Sub 9P male

            壓縮空氣連接


            快速連接器O.D. 4 mm

             


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