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| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 能源,電氣 |
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PRECESS普瑞賽思大型傳輸插入閥（V75系列）
帶有L-Motion的V75大型傳輸插入閥是為具有高循環(huán)速率的Solar和FPD生產(chǎn)系統(tǒng)的特殊要求而開發(fā)的?；?/span>V75系列的概念，它結(jié)合了極快的打開和關(guān)閉運動（在150毫米的打開高度下≤2秒）和對工藝相關(guān)沉積物的高阻力，這些沉積物會限制標(biāo)準(zhǔn)閥門的性能。V75配備了更大的壓力元件，可以承受閘門在開啟方向上的全壓差。因此，它特別適用于太陽能、OLED、PVD和負(fù)載鎖應(yīng)用。
V75可用于OLED的“超清潔"配置，并可用于PVD和負(fù)載鎖定應(yīng)用的高速選項。
V78使用的L-Motion技術(shù)基于模塊化平臺概念。它提供了一種無沖擊的打開和關(guān)閉動作。平穩(wěn)運行的雙作用L-Motion機(jī)構(gòu)可確保整個密封表面上的密封壓力均勻，最大限度地減少密封磨損和潛在的顆粒釋放。這也在一定程度上降低了閥門壽命期間FFKM密封件的總成本。
V75系列可作為帶外殼的標(biāo)準(zhǔn)傳輸閥或作為插入式版本直接安裝在工藝室中。
與所有PRECESS傳輸閥解決方案一樣，V75大型傳輸插入閥是根據(jù)客戶的具體規(guī)格量身定制的。這些定制可能包括額外的過程控制單元、特殊的表面處理，如硬質(zhì)陽極氧化鋁或鍍鎳鋁、其他密封材料、檢測閥體壓力的真空計、波紋管保護(hù)的軸饋通、閥門和閘門的射頻和直流接地選項、執(zhí)行器的橫向安裝位置等。
特征：
l半標(biāo)準(zhǔn)應(yīng)用（半E21-94半E24-92半E21.1-1296）
l通過使用獲得認(rèn)證的L形運動連桿和執(zhí)行器中沒有彈簧的雙換檔，顯著減少了振動，實現(xiàn)了更快的速度
l更平穩(wěn)的驅(qū)動
l閉合位置的機(jī)械鎖
優(yōu)點：
l焊接波紋管執(zhí)行器密封
l閥蓋法蘭螺栓設(shè)計有固定器，以防止拆卸時螺栓脫落
l氣動執(zhí)行器雙作用
應(yīng)用
l太陽能、FPD加工
l等離子體蝕刻、CVD、濺射沉積
lLCD/平板加工
l所有其他需要壓力控制器真空系統(tǒng)的應(yīng)用
PRECESS普瑞賽思大型傳輸插入閥（V75系列）
技術(shù)參數(shù)
尺寸 | 50 x 500 mm, 100 x 1350 mm, 250 x 3850 mm | |
執(zhí)行器 | 氣動 | 雙作用位置指示器 |
閥體材質(zhì) | 鋁或不銹鋼 | |
饋通 | 軸饋通 | |
標(biāo)準(zhǔn)法蘭 | ISO-F,CF-F,ASA-LP, JIS | |
泄漏率 | 閥體 | < 1 × 10-7 mbar l/s |
閥座 | < 1 × 10-7 mbar l/s | |
壓力范圍 | 1 × 10-7 mbar to 1.2 bar | |
壓差 | 閥門：在關(guān)閉方向 | ≤ 1 bar |
插入：在開啟方向 | < 30 mbar | |
At opening | < 3 mbar | |
循環(huán)至first使用 | ≥1000,000 | |
溫度 | 閥體 | ≤ 120 °C |
閥門 | ≤ 120 °C | |
材質(zhì) | 閥體、板 | EN AW-6061 (3.3211) |
軸 | AlSI 304 (1.4301) | |
波紋管 | AISI 633(AM350) | |
密封 | 閥帽 | FKM(Viton®) or FFKM Kalrez 9100 |
閥門 | FKM(Viton®) or FFKM Kalrez 9100 | |
安裝位置 | 執(zhí)行器向上或向下 | |
電磁閥 | 24 VDC PNP | |
位置指示器：觸點額定值 | 電壓 | ≤50 VDC |
電流 | 0-80 mA | |
功率 | ≤ 10 W | |
連接器 | 9針微型D | |
壓縮空氣連接 | 快速連接器O.D. 10 mm |
(空格分隔,最多3個,單個標(biāo)簽最多10個字符)
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