目錄:深圳市錫成科學(xué)儀器有限公司>>輪廓/膜厚測(cè)量>>探針式輪廓儀（臺(tái)階儀）>> P7探針式輪廓儀（臺(tái)階儀）
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更新時(shí)間：2024-08-07 14:38:21瀏覽次數(shù)：929評(píng)價(jià)
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| 產(chǎn)地類別 | 進(jìn)口 | 產(chǎn)品種類 | 接觸式輪廓儀/粗糙度儀 |
|---|---|---|---|
| 價(jià)格區(qū)間 | 50萬-100萬 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 綜合 |
探針式輪廓儀（臺(tái)階儀）KLA Tencor P7 /P17是UltraLite 傳感器、恒力控制和超平掃描樣品臺(tái)結(jié)合，實(shí)現(xiàn)了好的測(cè)量穩(wěn)定性。通過使用點(diǎn)擊式樣品臺(tái)控制、頂視和側(cè)視光學(xué)元件以及具有光學(xué)變焦功能的高分辨率相機(jī)，可快速輕松地設(shè)置程式。支持2D或3D測(cè)量，可使用多種濾波、調(diào)平和分析算法來測(cè)量表面形貌。通過圖形識(shí)別、序列和特征檢測(cè)實(shí)現(xiàn)全自動(dòng)測(cè)量。
探針式輪廓儀（臺(tái)階儀）技術(shù)特點(diǎn)
高精度2D/3D 表面形貌掃描
超大范圍的單次掃描量程，無需圖像拼接
納米至1000微米臺(tái)階高度測(cè)量
粗糙度和波紋度測(cè)量
樣品翹曲和曲率半徑測(cè)量
2D/3D薄膜應(yīng)力測(cè)量
表面缺陷檢測(cè)
探針掃描
掃描載臺(tái)具有單程150 mm的精確掃描范圍以及大1 mm的掃描高度范圍，從而保證高質(zhì)量的2D和3D掃描數(shù)據(jù)。
3D成像
通過3D掃描可以得到表面的三維成像，呈現(xiàn)出彩色三維圖像或自上而下的等高線圖像?？梢詮闹刑崛〗孛?線中的三維或二維數(shù)據(jù)。
應(yīng)力分析
能夠測(cè)量在生產(chǎn)包含多個(gè)工藝層的半導(dǎo)體器件期間所產(chǎn)生的應(yīng)力。使用應(yīng)力卡盤將樣品支撐在中性位置并精確測(cè)量樣品翹曲，然后通過應(yīng)用Stoney方程來計(jì)算應(yīng)力。2D應(yīng)力通過在直徑達(dá)150mm的樣品上通過單次掃描測(cè)量，無需圖像拼接。3D應(yīng)力的測(cè)量采用多個(gè)2D掃描，并結(jié)合θ平臺(tái)在掃描之間的旋轉(zhuǎn)對(duì)整個(gè)樣品表面進(jìn)行測(cè)量。
Apex軟件
Apex分析軟件通過提供調(diào)平、濾鏡、臺(tái)階高度、粗糙度和表面形貌分析技術(shù)的擴(kuò)展套件，增強(qiáng)了P-7的標(biāo)準(zhǔn)數(shù)據(jù)分析能力。 Apex支持ISO粗糙度計(jì)算方法以及如ASME之類的本地標(biāo)準(zhǔn)。 Apex還可用作報(bào)告編寫平臺(tái)，具有添加文本、注釋和是/否合格的準(zhǔn)則。 Apex提供八種語言的版本。
| 型號(hào) | P7 | P17 |
| 臺(tái)階高度 | 5nm~1000μm | |
| 分辨率（X/Y/Z） | 0.025 µm /0.5μm /0.01 Å | |
| 重復(fù)性 | 4 Å（1μm臺(tái)階） | |
| 載力范圍 | 0.03mg~50mg | |
| 視頻 | 5MP高分辨彩色相機(jī) | |
| 觀察位置 | 頂視或側(cè)視 | |
| 弧形校正 | 消除探針的弧形運(yùn)動(dòng)引起的誤差 | |
| 單次掃描 | 150mm | 200mm |
| 樣品臺(tái) | 150mm | 200mm |
| 自動(dòng)化測(cè)量 | 圖案識(shí)別、1000個(gè)量測(cè)序列點(diǎn)和序列隊(duì)列功能 | |
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