目錄:深圳市錫成科學(xué)儀器有限公司>>輪廓/膜厚測(cè)量>>探針式輪廓儀（臺(tái)階儀）>> D500 /D600探針式輪廓儀（臺(tái)階儀）
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更新時(shí)間：2024-10-21 16:21:00瀏覽次數(shù)：577評(píng)價(jià)
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| 產(chǎn)地類別 | 進(jìn)口 | 產(chǎn)品種類 | 接觸式輪廓儀/粗糙度儀 |
|---|---|---|---|
| 價(jià)格區(qū)間 | 20萬-35萬 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 綜合 |
探針式輪廓儀（臺(tái)階儀）Alpha-Step D500 /D600采用新型光學(xué)反射探測(cè)系統(tǒng)測(cè)量高度，同時(shí)應(yīng)用電磁力控制探針壓力，能有效實(shí)現(xiàn)超微力和低慣量。探針的接觸式測(cè)量技術(shù)的優(yōu)點(diǎn)是直接測(cè)量，與材料特性無關(guān)。多種力度調(diào)節(jié)和探針尺寸選擇可以讓機(jī)臺(tái)對(duì)各種結(jié)構(gòu)和材料進(jìn)行準(zhǔn)確測(cè)量。這些功能可以表征因添加或移除材料而引起的形貌特征改變，以及測(cè)量由材料結(jié)構(gòu)改變引起的粗糙度和應(yīng)力變化。
探針式輪廓儀（臺(tái)階儀）應(yīng)用范圍
2D/3D 表面形貌掃描
納米至1200μm臺(tái)階高度測(cè)量
粗糙度和波紋度測(cè)量
樣品翹曲和曲率半徑測(cè)量
2D薄膜應(yīng)力測(cè)量
技術(shù)特點(diǎn)
優(yōu)秀的重復(fù)性和再現(xiàn)性
接觸式測(cè)量，適用于多種材料
測(cè)量軟材料的微力控制
梯形失真校正可消除側(cè)視視圖造成的失真
弧形校正補(bǔ)償探針的弧形運(yùn)動(dòng)
| 型號(hào) | D500 | D600 | |
| 臺(tái)階高度 | 5nm~1200μm | ||
| 分辨率 | 0.38Å | ||
| 重復(fù)性 | 5Å（1μm臺(tái)階） | ||
| 載力范圍 | 0.03mg~15mg | ||
| 視頻 | 5MP高分辨彩色相機(jī) | ||
| 樣品臺(tái) | 140mm手動(dòng)XY軸，Z軸自動(dòng) | 200m三軸自動(dòng) | |
| 單次掃描 | 30mm | 55mm | |
| 圖像拼接 | 80mm | 200mm | |
| 梯形失真校正 | 消除側(cè)視視圖造成的失真 | ||
| 弧形校正 | 消除探針的弧形運(yùn)動(dòng)引起的誤差 | ||
| 掃描模式 | 2D | 2D/3D | |
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