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            高斯摩(成都)國際貿易有限公司

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            MC-11RCLINTEC琳得科 質量流量控制器
            參考價: 25260
            訂貨量: 1
            具體成交價以合同協(xié)議為準
            • MC-11RC 產品型號
            • LINTEC/琳得科 品牌
            • 經銷商 廠商性質
            • 成都市 所在地

            訪問次數(shù):34更新時間:2025-03-28 14:38:49

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            產品簡介
            產地類別 進口 應用領域 綜合
            LINTEC琳得科 質量流量控制器 MC-11RC
            質量流量控制器是一種被使用在半導體,液晶面板以及其他電子設備制造工程當中,控制氣體或液體質量流量的高精密儀器。
            產品介紹

            LINTEC琳得科 質量流量控制器 MC-11RC


            LINTEC琳得科 質量流量控制器 MC-11RC


            質量流量控制器是一種被使用在半導體,液晶面板以及其他電子設備制造工程當中,控制氣體或液體質量流量的高精密儀器。

            由于是利用氣體或液體的質量對流量進行控制,故不受溫度及壓力的影響,可精準地對流體進行控制。質量流量控制器主要由質流傳感器、分流器、制閥以及控制回路所構成。

            溫度最小壓差最大壓差精度控制范圍最小F.S.最大F.S.密封材
            15~35℃50kPa300kPa±1%F.S.2~100%F.S.10SCCM150SLM橡膠


            典型應用場景

            1. 半導體制造:

            晶圓刻蝕工藝(Cl?、CF?等特種氣體控制)

            CVD沉積(SiH?/N?O流量比控制±1%)

            離子注入(BF?/PH?精確配氣)

            質流傳感器是由纏繞著高溫度靈敏系數(shù)的阻抗線的上流端(RU),下流端(Rd)及環(huán)境溫度補慘式質流傳感器(RD)所構成。當氣體未流入時。Ru 及 Rd 部分的熱量被氣體帶走,造成溫度下降,為維持原本與比的溫差,回路會產生電力對Ru及Rd進行加溫。

            產品核心優(yōu)勢

            精準控制能力:

            采用自適應PID算法,在10%-100%量程內保持線性度±0.5%

            零漂移補償技術,長期穩(wěn)定性<±0.5%/年



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