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KOFLOC 科賦樂質(zhì)量流量計(jì) 8900 系列

傳感器		熱式繞組傳感器
閥門		電磁比例閥（斷電時關(guān)閉）
對象氣體		N2、Air、H2、He、Ar、O2、CO2等
流量范圍（N2換算）		10SCCM～20SLM
控制范圍		2～100%F.S.
響應(yīng)性		2sec以內(nèi)（within±2%F.S.）
精度		±1%F.S.（25℃）
溫度系數(shù)		±0.1%F.S./℃（15～35℃）
重現(xiàn)性		±0.5%F.S.
動作壓差		F.S.≦5SLM 50～300kPa、F.S.＞5SLM 100～300kPa
入口最大圧?耐圧		500kPa(G)
耐圧		1MPa(G)
He泄漏率		1×10-8Pa?m3/sec以下
允許環(huán)境溫度		5～45℃
允許保存溫度		-10～60℃
允許周圍濕度		10～90%RH（未出現(xiàn)冷凝）
與氣體接觸的材質(zhì)		SUS316L,SUS316,磁性不銹鋼,FKM(可選:NBR,CR)
電気接続		D-sub9九針 KFC standard（依據(jù)SEMI standard）
模擬流量設(shè)定信號		0～5VDC（輸入Z,1MΩ以上）or 4～20mA（輸入Z,250Ω）
模擬流量輸出信號		0～5VDC（負(fù)載電阻250kΩ以上）or 4～20mA（負(fù)載電阻300Ω以下）
電源		+15VDC（±5%）100mA、-15VDC（±5%）250mA or　24VDC（±10%）450mA
外部尺寸		寬32mm × 高100mm(包含連接部）× 平面76mm(不包含接頭)
接頭（本體口徑）		標(biāo)準(zhǔn)：1/4SWL、可選：1/8SWL、1/4VCR、Rc1/4（9/16-18UNF）
重量		約1,000g