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            合肥重光電子科技有限公司
                                                                        
            
										  中級(jí)會(huì)員 | 第1年									
            
                                    								
            

							
            
						
            
                        

					
            
										
            
						
            
                            							
            
								
            
								
            
									
            15955179814
            
								
            
							
            
                            						
            
					
            
										
				
            
			
            
			
            
				
            
					
				
            
			
            
		
            

		
		 
				
            
			
            
				
            
					
            
						
            當(dāng)前位置：> 供求商機(jī)> MSD-150D-桌上型半自動(dòng)顯影機(jī)
            
					
            
				
            
			
            
		
            

	
            
		
            
			
            MSD-150D-桌上型半自動(dòng)顯影機(jī)
            
		
            
		
            
			
		
            
	
            
	
            
		
            
			
            
				
            
					
              
						
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							MSD-150D-桌上型半自動(dòng)顯影機(jī)
						
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            貨物所在地：安徽合肥市
            
                                        					
            更新時(shí)間：2025-03-28 22:03:20
            
					
            瀏覽次數(shù)：15
            
					在線詢價(jià)收藏商機(jī)
					
            ( 聯(lián)系我們，請(qǐng)說明是在 化工儀器網(wǎng) 上看到的信息，謝謝?。?/p>
						                
            
				
            
			
            
		
            
	
            
	
            
		
            
				
			
            
				
            
					
					
            
							MSD-150D主要應(yīng)用于曝光后的顯影工藝。該設(shè)備主要由顯影腔單元、自動(dòng)擺臂單元、 以及供液系統(tǒng)、主軸系統(tǒng)、控制系統(tǒng)及排液系統(tǒng)等組成，整機(jī)采用框架結(jié)構(gòu)，外表為鏡面不銹鋼，無塵且不吸附顆粒，工作方式為手動(dòng)上下片，自動(dòng)完成顯影工藝。
            顯影單元基片采用真空吸附加四周擋板固定方式，采用進(jìn)口伺服電機(jī)，保證轉(zhuǎn)速、加速度、控制精度高，重復(fù)性好；供液系統(tǒng)采用廠務(wù)或者壓力容器直接供液方式。   
            控制系統(tǒng)由觸摸屏和

					
            
					
            MSD-150D用于對(duì)顯影均勻性和一致性要求較高的表面處理工藝，適合硅片、磷化銦、碳化硅、氮化鎵等。主要應(yīng)用于4、6寸晶圓及方片.適合高校、研究所和企業(yè)客戶。
            本司提供8寸、12寸桌上型顯影機(jī)，更多功能如吹氣、背洗等請(qǐng)咨詢。
            技術(shù)規(guī)格：
            項(xiàng)目
            規(guī)格
             
             
            主體
            外殼材質(zhì):SUS
            處理樣品尺寸：6寸以內(nèi)
            承盤:PTFE 
            馬達(dá):
            轉(zhuǎn)速：20-3000 R.P.M
            搖臂：自動(dòng)
            操作界面：7寸觸摸屏
             
            顯影裝置
            藥液裝置:
            顯影 x1
            DIW  x1
            N2、背洗、背部吹氣可選
             
             
            控制系統(tǒng)
            系統(tǒng): PLC
            使用接口：7寸觸屏 
            配方:手動(dòng)和自動(dòng)模式
            編程 : 50 組 20 步
             
             
            安全裝置
            晶圓承盤真空滲液保護(hù): 
            真空檢知:
            數(shù)字設(shè)定:真空值下限保護(hù)
            運(yùn)行結(jié)束報(bào)警提示
             
             
            附件
            真空泵x1
            顯影罐x1
            去離子水罐x1
            廢液桶x1
            真空吸盤x1


            
                                                                				
            
			
            
		
            
	
            
		



  
    
    				
			

		
    
    
    
    
    
    
    
    
    
    

    

     
     
     
	 




	 
	
	
	

            
	
            
		
            
			
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            請(qǐng)輸入密碼
            
					
            
				
            
				
            
					
            =
                       
            請(qǐng)輸驗(yàn)證碼
            
                    
            
				
            
				
            
		
            
	
            

            


            
	
            
		
            
			
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