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HORIBA S600系列數(shù)字質(zhì)量流量控制器
| 參考價(jià) | ￥ 5000 |
| 訂貨量 | ≥1件 |
- 公司名稱 曦源科學(xué)儀器（上海）有限公司
- 品牌 HORIBA/堀場(chǎng)
- 型號(hào) HORIBA
- 產(chǎn)地 北京
- 廠商性質(zhì) 代理商
- 更新時(shí)間 2025/4/7 16:45:11
- 訪問次數(shù) 30
質(zhì)量流量控制器質(zhì)量流量計(jì)HORIBA堀場(chǎng)S600系列數(shù)字質(zhì)量流量控制器
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| 產(chǎn)地類別 | 進(jìn)口 | 產(chǎn)品種類 | 差壓式 |
|---|---|---|---|
| 價(jià)格區(qū)間 | 面議 | 介質(zhì)分類 | 氣體 |
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 環(huán)保,食品/農(nóng)產(chǎn)品,化工,電子/電池,制藥/生物制藥 | 控制范圍 | 3 SCCM到500 SLM |
| 支持氣體 | 多種氣體（支持用戶自定義設(shè)置） | 控制精度 | ±1.0% |
| 響應(yīng)時(shí)間 | ≤1.5 秒 | 通信接口 | RS-485、DeviceNet、EtherCAT、模擬（0–5V/4–20mA） |
HORIBA S600系列數(shù)字質(zhì)量流量控制器（MFC）
產(chǎn)品概述
S600系列數(shù)字質(zhì)量流量控制器由日本HORIBA STEC公司研發(fā)，是一款高性能、高可靠性的MFC產(chǎn)品，適用于半導(dǎo)體、光伏、生物醫(yī)藥、食品包裝等多個(gè)制造領(lǐng)域。該系列控制器采用優(yōu)良的數(shù)字控制技術(shù)，具備出色的穩(wěn)定性、精度及通訊能力，廣泛應(yīng)用于對(duì)氣體流量控制要求較高的場(chǎng)合。
產(chǎn)品特點(diǎn)
寬流量控制范圍
控制范圍覆蓋 3 SCCM 到 500 SLM，適配各種氣體和工藝需求。高控制精度
控制精度高達(dá) ±1.0% S.P.，響應(yīng)時(shí)間小于 1.5 秒，確保控制過程的高一致性。多種通訊接口
支持 RS485、DeviceNet™、PROFIBUS™、EtherCAT® 及模擬 0–5V DC 信號(hào)輸出，便于系統(tǒng)集成。多供電及密封選項(xiàng)
支持 ±15VDC 與 24VDC 兩種供電，提供橡膠密封或金屬密封可選，適應(yīng)不同使用環(huán)境。優(yōu)異的長(zhǎng)期穩(wěn)定性與耐久性
高可靠性設(shè)計(jì)，適應(yīng)嚴(yán)苛工業(yè)環(huán)境，減少維護(hù)頻次。
技術(shù)規(guī)格
| 參數(shù) | 數(shù)值 |
| 可控氣體種類 | N?、O?、Ar、He、H?、空氣等 |
| 流量控制范圍 | 3 SCCM ~ 500 SLM |
| 控制精度 | ±1.0% S.P. |
| 重復(fù)精度 | ±0.2% F.S. |
| 響應(yīng)時(shí)間 | ≤ 1.5 秒 |
| 通訊方式 | 模擬 0–5V、RS485、DeviceNet、EtherCAT、PROFIBUS |
| 供電電壓 | ±15VDC 或 +24VDC |
| 接頭類型 | 1/4” VCR、Swagelok、卡套接頭等 |
| 密封形式 | 橡膠密封（R）、金屬密封（M） |
| 安裝方向 | 任意方向 |
| 工作環(huán)境 | 5–45°C，濕度小于90%RH |
適用場(chǎng)景
半導(dǎo)體制造
光刻、離子注入、CVD、PVD等氣體控制場(chǎng)合。光伏設(shè)備制造
多晶硅擴(kuò)散、PECVD等。生物制藥行業(yè)
精密氣體反應(yīng)控制、細(xì)胞發(fā)酵培養(yǎng)氣氛調(diào)節(jié)。食品和飲料
氣調(diào)包裝、注氮灌裝、飲料殺菌與保存過程。工業(yè)爐與熱處理設(shè)備
氣氛控制，提升熱處理質(zhì)量與一致性。
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