HORIBA SEC-E 系列數(shù)字質(zhì)量流量控制器
| 參考價 | ￥ 5000 |
| 訂貨量 | ≥1件 |
具體成交價以合同協(xié)議為準
- 公司名稱 曦源科學(xué)儀器（上海）有限公司
- 品牌 HORIBA/堀場
- 型號 HORIBA
- 產(chǎn)地 北京
- 廠商性質(zhì) 代理商
- 更新時間 2025/4/7 16:46:57
- 訪問次數(shù) 36
聯(lián)系方式：楊二冬13062604980 查看聯(lián)系方式
聯(lián)系我們時請說明是化工儀器網(wǎng)上看到的信息，謝謝!
| 產(chǎn)地類別 | 進口 | 產(chǎn)品種類 | 差壓式 |
|---|---|---|---|
| 價格區(qū)間 | 面議 | 介質(zhì)分類 | 氣體 |
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 環(huán)保,食品/農(nóng)產(chǎn)品,化工,電子/電池,制藥/生物制藥 | 控制范圍 | 10 SCCM 至 200 SLM |
| 支持氣體 | 多種標準及特殊氣體 | 控制精度 | ±1.0% |
| 響應(yīng)時間 | ≤1秒 | 通信接口 | 模擬、RS485、DeviceNet、PROFIBUS |
HORIBA SEC-E 系列數(shù)字質(zhì)量流量控制器
產(chǎn)品概述
HORIBA SEC-E 系列數(shù)字質(zhì)量流量控制器（Mass Flow Controller，簡稱 MFC），適用于各種工業(yè)與科研應(yīng)用。該系列產(chǎn)品通過熱式傳感器檢測氣體流量，并搭配高響應(yīng)電磁閥進行精準控制，支持多種氣體類型與廣泛的流量范圍，性能穩(wěn)定，控制精度高。
產(chǎn)品特點
高精度熱式傳感器
內(nèi)置熱傳感器可實現(xiàn)實時流量測量，確保流量控制的高精度與重復(fù)性。電磁閥控制
快速響應(yīng)的電磁閥結(jié)構(gòu)，具備良好的流量調(diào)節(jié)能力，適合動態(tài)工況。多氣體兼容性
支持多種標準及特種氣體，如 N?、O?、Ar、He、H?、CO? 等。寬流量控制范圍
控制范圍從 10 SCCM 至 200 SLM，涵蓋從實驗室級別到工業(yè)規(guī)模的多種需求。數(shù)字/模擬信號兼容
提供模擬 (0–5V, 4–20mA) 和數(shù)字通訊（RS485, DeviceNet, PROFIBUS）接口，便于系統(tǒng)集成。緊湊設(shè)計，易于安裝
模塊化結(jié)構(gòu)，體積小，適合集成到各類設(shè)備或系統(tǒng)中。
技術(shù)規(guī)格
| 參數(shù) | 數(shù)值 |
| 可控氣體種類 | 多種標準及特殊氣體 |
| 流量控制范圍 | 10 SCCM ～ 200 SLM（以 N? 為基準） |
| 控制精度 | ±1.0% F.S.（標準型） |
| 重復(fù)精度 | ±0.2% F.S. |
| 響應(yīng)時間 | ≤1 秒 |
| 通訊方式 | 模擬 0–5V、RS485、DeviceNet、EtherCAT、PROFIBUS |
| 供電電壓 | ±15VDC 或 +24VDC |
| 接頭類型 | 1/4" Swagelok, VCR, 面密封等多種可選 |
| 操作溫度范圍 | 5 ～ 50°C |
適用場景
半導(dǎo)體制造
薄膜沉積（CVD, PVD）
離子注入
等離子蝕刻
光刻工藝輔助
工業(yè)控制
氣體混合系統(tǒng)
燃燒器氣體配比
工業(yè)氣體監(jiān)控
科研實驗
氣體傳感器實驗
微反應(yīng)器進氣控制
生物技術(shù)及制藥行業(yè)實驗
采購中心
化工儀器網(wǎng)