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            成都藤田科技有限公司

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            日本Otsuka大塚OPTM series嵌入分光膜厚儀
            參考價: 面議
            具體成交價以合同協(xié)議為準
            • 產(chǎn)品型號
            • OTSUKA/日本大塚 品牌
            • 代理商 廠商性質(zhì)
            • 成都市 所在地

            訪問次數(shù):54更新時間:2025-02-22 10:41:21

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            網(wǎng)址:
            www.fujita-cn.com

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            產(chǎn)品簡介
            產(chǎn)地類別 進口 價格區(qū)間 面議
            應(yīng)用領(lǐng)域 綜合
            日本Otsuka大塚OPTM series嵌入分光膜厚儀成都藤田科技提供
            用顯微微分光膜厚計OPTM series的高精度、微小光點,在線提供制作晶片圖案后的微小區(qū)域測量等膜厚信息。...
            產(chǎn)品介紹

            日本Otsuka大塚OPTM series嵌入分光膜厚儀成都藤田科技提供

            OPTM series 嵌入型日本Otsuka大塚OPTM series嵌入分光膜厚儀

            產(chǎn)品信息

            特 點

            ● 膜厚測量范圍1nm~92μm(換算為SiO2)

            ● 膜厚值高重復(fù)精度

            ● 1點1秒以內(nèi)的高速測量

            ● 最小小點Φ3μm)中瞄準模式

            ● 適合圖案晶片的膜厚映射

            ● 能夠取得圖案對準用圖像

            裝置組裝示意圖

            日本Otsuka大塚OPTM series嵌入分光膜厚儀

            測量數(shù)據(jù)示意圖


            日本Otsuka大塚OPTM series嵌入分光膜厚儀


            測量光點周邊圖像

            日本Otsuka大塚OPTM series嵌入分光膜厚儀


            適應(yīng)過程示例

            CMP工藝

            蝕刻工藝

            成膜工藝等


            產(chǎn)品規(guī)格

            日本Otsuka大塚OPTM series嵌入分光膜厚儀

            核心對比與OPTM優(yōu)勢

            1. 技術(shù)差異化


              • OPTM系列:基于分光干涉法,結(jié)合顯微光學(xué)系統(tǒng),實現(xiàn)反射率分析,支持超薄膜(1nm)與復(fù)雜多層結(jié)構(gòu),技術(shù)解決透明基板干擾。


              • Smart膜厚儀:側(cè)重便攜性與快速篩查,適用于常規(guī)單層膜厚測量,但精度與功能擴展性不及OPTM系列。


            2. 應(yīng)用場景

              • OPTM適用于研發(fā)(R&D)與高精度QC,如半導(dǎo)體晶圓、光學(xué)濾光片;Smart膜厚儀更適合產(chǎn)線快速抽檢。


            3. 性價比優(yōu)勢:OPTM以中型設(shè)備成本提供媲美橢偏儀的精度,且操作門檻更低,軟件內(nèi)置NIST校準追溯,確保數(shù)據(jù)可靠性。



            1. 微區(qū)測量能力:最小光斑直徑3μm,搭配自動XY平臺(200×200mm),實現(xiàn)晶圓、FPD(如OLED、ITO膜)等



            2. 微小區(qū)域的精準厚度分布映射。


            3. 跨行業(yè)適用性:專為半導(dǎo)體(SiO?/SiN膜)、顯示面板(彩色光阻)、DLC涂層等行業(yè)設(shè)計,支持粗糙表面、傾斜結(jié)構(gòu)及復(fù)雜光學(xué)異向性樣品的分析。


            4. 安全與擴展性:區(qū)域傳感器觸發(fā)防誤觸機制,獨立測量頭支持定制化嵌入,滿足在線檢測(inline)與實驗室研發(fā)需求。


            日本Otsuka大塚OPTM series嵌入分光膜厚儀成都藤田科技提供



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