狠狠色丁香久久综合婷婷亚洲成人福利在线-欧美日韩在线观看免费-国产99久久久久久免费看-国产欧美在线一区二区三区-欧美精品一区二区三区免费观看-国内精品99亚洲免费高清

            官方微信|手機(jī)版

            產(chǎn)品展廳

            產(chǎn)品求購(gòu)企業(yè)資訊會(huì)展

            發(fā)布詢價(jià)單

            化工儀器網(wǎng)>產(chǎn)品展廳>化工機(jī)械設(shè)備>其它設(shè)備>其它化工機(jī)械設(shè)備> 電漿原子層沉積設(shè)備

            電漿原子層沉積設(shè)備

            具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
            • 公司名稱 北京瑞科中儀科技有限公司
            • 品牌 其他品牌
            • 型號(hào)
            • 產(chǎn)地
            • 廠商性質(zhì) 經(jīng)銷商
            • 更新時(shí)間 2024/7/10 13:52:24
            • 訪問(wèn)次數(shù) 723

            聯(lián)系方式:汪經(jīng)理查看聯(lián)系方式

            聯(lián)系我們時(shí)請(qǐng)說(shuō)明是化工儀器網(wǎng)上看到的信息,謝謝!


            北京瑞科中儀科技有限公司專注半導(dǎo)體材料研究分析設(shè)備的研發(fā)和應(yīng)用。專業(yè)的團(tuán)隊(duì),專精的服務(wù),提供理想的解決方案。

            我們長(zhǎng)期專注于半導(dǎo)體材料研究與分析設(shè)備的經(jīng)銷和代理,為高校、企業(yè)科研工作者提供專業(yè)的分析解決方案。以專業(yè)技能為導(dǎo)向,用科技來(lái)解決用戶在科研中遇到的難題。專業(yè)的技術(shù)工程師和科研工作者進(jìn)行現(xiàn)場(chǎng)演示和技術(shù)交流,打消顧慮,彼此協(xié)作,為我國(guó)的科研領(lǐng)域譜寫新篇章。

            北京瑞科中儀科技有限公司長(zhǎng)期代理銷售供應(yīng)多種分子材料的研究分析設(shè)備,其中包括但不限于掃描電子顯微鏡、感應(yīng)耦合等離子體化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)、離子束刻蝕機(jī)、等離子清洗機(jī)、物理氣相沉積系統(tǒng)以及各品牌的光學(xué)顯微鏡以及實(shí)驗(yàn)室設(shè)備儀器。

            客戶至上的服務(wù)理念,以人為本的企業(yè)文化,我們始終為用戶提供專業(yè)的服務(wù)!

            合作丨共贏,選擇我們,選擇未來(lái)!

             

            半導(dǎo)體材料分析,材料刻蝕

            應(yīng)用領(lǐng)域 環(huán)保,化工,電子

            電漿原子層沉積設(shè)備(PEALD)是一種基於常規(guī)ALD的先進(jìn)方法,其利用電漿作為裂化前驅(qū)物材料的條件,而不是僅依靠來(lái)自加熱基板的熱能。 製程中只需靠電漿來(lái)進(jìn)行裂化前驅(qū)物材料,無(wú)需高溫來(lái)傳遞必要的活化能。SYSKEY的系統(tǒng)可以精準(zhǔn)的控制電漿與ALD的製程,薄膜的厚度和均勻度皆+/- 1%。


            image.png

            image.png

            電漿原子層沉積設(shè)備參數(shù):

            應(yīng)用領(lǐng)域腔體
            • 高k值之氧化物。

            • OLED和矽太陽(yáng)能電池的鈍化層。

            • 微機(jī)電系統(tǒng)。

            • 納米電子學(xué)。

            • 納米孔結(jié)構(gòu)薄膜。

            • 光學(xué)薄膜。

            • 薄膜封裝技術(shù)。

            • 鋁腔或者不銹鋼腔體,其佔(zhàn)地面積小,可縮短製程時(shí)間。

            • 通過(guò)使用水冷系統(tǒng)、加熱器或加熱包來(lái)控制腔體溫度。




            配置和優(yōu)點(diǎn)選件
            • 客製化的基板尺寸,最大直徑可達(dá)300mm晶圓。

            • 優(yōu)異的薄膜均勻度小於±1%。

            • 較高的深寬比和複雜結(jié)構(gòu)具有相同特性之薄膜沉積。

            • 遠(yuǎn)程等離子體電漿源。

            • 前驅(qū)物材料可多達(dá)6種並可分別加熱到200°C。

            • 快速脈衝的氣體輸送閥,反應(yīng)時(shí)間為10毫秒。

            • 通過(guò)穩(wěn)定的溫度控制,將基板載盤加熱到800°C。

            • 材料:Al2O3, HfO2, SiO2, TiO2, Ta2O5, ZnO, AZO, HfO2, SiO2 , TiO2, GaO2, AlN, SiN, Pt…等等。

            • 可以與傳送腔、機(jī)械手臂和手套箱整合在一起。

            • 橢圓偏振光譜儀。

            • 高真空傳送系統(tǒng)。






            image.png

            應(yīng)用領(lǐng)域腔體
            • 高k值之氧化物。

            • OLED和矽太陽(yáng)能電池的鈍化層。

            • 微機(jī)電系統(tǒng)。

            • 納米電子學(xué)。

            • 納米孔結(jié)構(gòu)薄膜。

            • 光學(xué)薄膜。

            • 薄膜封裝技術(shù)。

            • 鋁腔或者不銹鋼腔體,其佔(zhàn)地面積小,可縮短製程時(shí)間。

            • 通過(guò)使用水冷系統(tǒng)、加熱器或加熱包來(lái)控制腔體溫度。




            配置和優(yōu)點(diǎn)選件
            • 客製化的基板尺寸,最大直徑可達(dá)300mm晶圓。

            • 優(yōu)異的薄膜均勻度小於±1%。

            • 較高的深寬比和複雜結(jié)構(gòu)具有相同特性之薄膜沉積。

            • 遠(yuǎn)程等離子體電漿源。

            • 前驅(qū)物材料可多達(dá)6種並可分別加熱到200°C。

            • 快速脈衝的氣體輸送閥,反應(yīng)時(shí)間為10毫秒。

            • 通過(guò)穩(wěn)定的溫度控制,將基板載盤加熱到800°C。

            • 材料:Al2O3, HfO2, SiO2, TiO2, Ta2O5, ZnO, AZO, HfO2, SiO2 , TiO2, GaO2, AlN, SiN, Pt…等等。

            • 可以與傳送腔、機(jī)械手臂和手套箱整合在一起。

            • 橢圓偏振光譜儀。

            • 高真空傳送系統(tǒng)。







            相關(guān)分類



            化工儀器網(wǎng)

            采購(gòu)商登錄
            記住賬號(hào)    找回密碼
            沒(méi)有賬號(hào)?免費(fèi)注冊(cè)

            提示

            ×

            *您想獲取產(chǎn)品的資料:

            以上可多選,勾選其他,可自行輸入要求

            個(gè)人信息:

            溫馨提示

            該企業(yè)已關(guān)閉在線交流功能