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            產(chǎn)品展廳
            
			
            產(chǎn)品求購(gòu)企業(yè)資訊會(huì)展
            
 			
            
				
				
				
			
            
			
            
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            化工儀器網(wǎng)>產(chǎn)品展廳>化工機(jī)械設(shè)備>其它設(shè)備>其它化工機(jī)械設(shè)備>  電漿原子層沉積設(shè)備 
            
  
            
  
            
  
    
      
            

			
              電漿原子層沉積設(shè)備
            
			
            
			
			
							
				
            
													
            
							    							
            具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
            
							
            
											
            
						
              
							
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								公司名稱
								北京瑞科中儀科技有限公司                      
                  
							
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								品牌
								其他品牌
							
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								型號(hào)
								
							
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								產(chǎn)地
								
							
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								廠商性質(zhì)
								經(jīng)銷商
							
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								更新時(shí)間
								2024/7/10 13:52:24
							
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								訪問(wèn)次數(shù)
								723
							
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            北京瑞科中儀科技有限公司專注半導(dǎo)體材料研究分析設(shè)備的研發(fā)和應(yīng)用。專業(yè)的團(tuán)隊(duì)，專精的服務(wù)，提供理想的解決方案。
            我們長(zhǎng)期專注于半導(dǎo)體材料研究與分析設(shè)備的經(jīng)銷和代理，為高校、企業(yè)科研工作者提供專業(yè)的分析解決方案。以專業(yè)技能為導(dǎo)向，用科技來(lái)解決用戶在科研中遇到的難題。專業(yè)的技術(shù)工程師和科研工作者進(jìn)行現(xiàn)場(chǎng)演示和技術(shù)交流，打消顧慮，彼此協(xié)作，為我國(guó)的科研領(lǐng)域譜寫新篇章。
            北京瑞科中儀科技有限公司長(zhǎng)期代理銷售供應(yīng)多種分子材料的研究分析設(shè)備，其中包括但不限于掃描電子顯微鏡、感應(yīng)耦合等離子體化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)、離子束刻蝕機(jī)、等離子清洗機(jī)、物理氣相沉積系統(tǒng)以及各品牌的光學(xué)顯微鏡以及實(shí)驗(yàn)室設(shè)備儀器。
            客戶至上的服務(wù)理念，以人為本的企業(yè)文化，我們始終為用戶提供專業(yè)的服務(wù)！
            合作丨共贏，選擇我們，選擇未來(lái)！
             
            
	  		
            
  		
            
		
  		
            
  		
            
  			
            
  			
            
  				
            半導(dǎo)體材料分析,材料刻蝕
            
  			
            
  		
            
  		
            
		
		
  	
            
  	
            
  		
	    
            
      		
            
			        
            
	    	                                	            
            
    	                	            應(yīng)用領(lǐng)域
    	            環(huán)保,化工,電子
                        	            	    	   	 
            
			
            
    					
    
            電漿原子層沉積設(shè)備（PEALD）是一種基於常規(guī)ALD的先進(jìn)方法，其利用電漿作為裂化前驅(qū)物材料的條件，而不是僅依靠來(lái)自加熱基板的熱能。 製程中只需靠電漿來(lái)進(jìn)行裂化前驅(qū)物材料，無(wú)需高溫來(lái)傳遞必要的活化能。SYSKEY的系統(tǒng)可以精準(zhǔn)的控制電漿與ALD的製程，薄膜的厚度和均勻度皆+/- 1％。

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            電漿原子層沉積設(shè)備參數(shù)：
            應(yīng)用領(lǐng)域腔體
            • 高k值之氧化物。
            • OLED和矽太陽(yáng)能電池的鈍化層。
            • 微機(jī)電系統(tǒng)。
            • 納米電子學(xué)。
            • 納米孔結(jié)構(gòu)薄膜。
            • 光學(xué)薄膜。
            • 薄膜封裝技術(shù)。
            • 鋁腔或者不銹鋼腔體，其佔(zhàn)地面積小，可縮短製程時(shí)間。
            • 通過(guò)使用水冷系統(tǒng)、加熱器或加熱包來(lái)控制腔體溫度。



            配置和優(yōu)點(diǎn)選件
            • 客製化的基板尺寸，最大直徑可達(dá)300mm晶圓。
            • 優(yōu)異的薄膜均勻度小於±1％。
            • 較高的深寬比和複雜結(jié)構(gòu)具有相同特性之薄膜沉積。
            • 遠(yuǎn)程等離子體電漿源。
            • 前驅(qū)物材料可多達(dá)6種並可分別加熱到200°C。
            • 快速脈衝的氣體輸送閥，反應(yīng)時(shí)間為10毫秒。
            • 通過(guò)穩(wěn)定的溫度控制，將基板載盤加熱到800°C。
            • 材料：Al2O3, HfO2, SiO2, TiO2, Ta2O5, ZnO, AZO, HfO2, SiO2 , TiO2, GaO2, AlN, SiN, Pt…等等。
            • 可以與傳送腔、機(jī)械手臂和手套箱整合在一起。
            • 橢圓偏振光譜儀。
            • 高真空傳送系統(tǒng)。





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            應(yīng)用領(lǐng)域腔體
            • 高k值之氧化物。
            • OLED和矽太陽(yáng)能電池的鈍化層。
            • 微機(jī)電系統(tǒng)。
            • 納米電子學(xué)。
            • 納米孔結(jié)構(gòu)薄膜。
            • 光學(xué)薄膜。
            • 薄膜封裝技術(shù)。
            • 鋁腔或者不銹鋼腔體，其佔(zhàn)地面積小，可縮短製程時(shí)間。
            • 通過(guò)使用水冷系統(tǒng)、加熱器或加熱包來(lái)控制腔體溫度。



            配置和優(yōu)點(diǎn)選件
            • 客製化的基板尺寸，最大直徑可達(dá)300mm晶圓。
            • 優(yōu)異的薄膜均勻度小於±1％。
            • 較高的深寬比和複雜結(jié)構(gòu)具有相同特性之薄膜沉積。
            • 遠(yuǎn)程等離子體電漿源。
            • 前驅(qū)物材料可多達(dá)6種並可分別加熱到200°C。
            • 快速脈衝的氣體輸送閥，反應(yīng)時(shí)間為10毫秒。
            • 通過(guò)穩(wěn)定的溫度控制，將基板載盤加熱到800°C。
            • 材料：Al2O3, HfO2, SiO2, TiO2, Ta2O5, ZnO, AZO, HfO2, SiO2 , TiO2, GaO2, AlN, SiN, Pt…等等。
            • 可以與傳送腔、機(jī)械手臂和手套箱整合在一起。
            • 橢圓偏振光譜儀。
            • 高真空傳送系統(tǒng)。






            
	    
            
		    
    
  	
            
  
            
  
            
    	
            
  		
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